Vodnik za prevleke TAC

Funkcija vodnih obročev TAC:

Natančen nadzor pretoka plina:Guide Guide TAC prevlekaje strateško nameščen v sistemu za vbrizgavanje plinaMOCVD reaktor. Njegova glavna funkcija je usmerjanje pretoka predhodnih plinov in zagotovitev njihove enakomerne porazdelitve po površini podlage. Ta natančen nadzor nad dinamiko pretoka plina je bistvenega pomena za doseganje enakomerne rasti epitaksialne plasti in želenih lastnosti materiala.

Toplotno upravljanje: Vodnik za prevleke TAC pogosto deluje pri povišanih temperaturah zaradi njihove bližine ogrevanega aparat in substrata. Odlična toplotna prevodnost TAC pomaga učinkovito razpršiti toploto, kar preprečuje lokalizirano pregrevanje in ohranja stabilen temperaturni profil znotraj reakcijskega območja.

Prednosti TAC v MOCVD:

Ekstremna temperaturna odpornost: TAC se ponaša z eno najvišjih tališč med vsemi materiali, ki presega 3800 ° C.

Izjemna kemična inertnost: TAC ima izjemno odpornost proti koroziji in kemičnem napadu iz reaktivnih predhodnih plinov, ki se uporabljajo v MOCVD, kot so amonijak, silane in različne kovinsko-organske spojine.

Fizične lastnostiTac prevleka:

Ugodnosti za uspešnost MOCVD:

Uporaba vodnika za prevleko za prevleke za polprevodniške prevleke Vetek v opremi MOCVD znatno prispeva k:

Povečana poraba opreme: Trajnost in podaljšana življenjska doba vodniškega obroča TAC zmanjšuje potrebo po pogostih zamenjavah, kar zmanjša izpad vzdrževanja in poveča operativno učinkovitost sistema MOCVD.

Izboljšana stabilnost procesa: Toplotna stabilnost in kemična inertnost TAC prispevata k stabilnejšemu in nadzorovanemu reakcijskemu okolju znotraj komore MOCVD, kar zmanjšuje spremembe procesa in izboljšuje obnovljivost.

Izboljšana enakomernost epitaksialne plasti: Natančen nadzor pretoka plina, ki ga olajšajo vodniki TAC prevleke, zagotavlja enakomerno porazdelitev predhodnika, kar ima za posledico zelo enakomernoRast epitaksialne plastiz dosledno debelino in sestavo.

Prevleka Tantalum karbide (TAC)na mikroskopskem prerezu: