Tac prevleka podstavka

Vetek Semiconductor je kitajski proizvajalec in dobavitelj, ki v glavnem proizvaja CVD TAC prevleke za prevleke, dovodni prstan, rezine, držalo za prevleko TAC, TAC prevleka za podporne plošče z dolgoletnimi izkušnjami. Upam, da bomo z vami vzpostavili poslovne odnose.

Tac keramika ima tališče do 3880 ℃, visoko trdoto (MOHS trdota 9 ~ 10), velika toplotna prevodnost (22 W · m^-1· K.⁻¹), velika upogibna trdnost (340 ~ 400MPA) in majhen koeficient toplotne ekspanzije (6,6 × 10⁻⁶K⁻¹) in pokažite odlično termokemično stabilnost in odlične fizikalne lastnosti. Ima dobro kemijsko in mehansko združljivost z grafitnimi in c/c kompozitnimi materiali, zato se TAC prevleka pogosto uporablja pri vesoljski toplotni zaščiti, rasti posameznih kristalov in epitaksialnih reaktorjih, kot so Aixtron, LPE EPI reaktor v polprevodniški industriji. 

TaC coated graphite has better chemical corrosion resistance than bare stone ink or SiC coated graphite, can be used stably at 2200° high temperature, does not react with many metal elements, is the third generation of semiconductor single crystal growth, epitaxy and wafer etching scene of the best performance coating, can significantly improve the process of temperature and impurity control, Preparation of high quality silicon carbide wafers and related epitaxial rezine. Posebej je primeren za gojenje enojnega kristala GAN ali ALN v opremi MOCVD in enojnega kristala SIC v PVT opremi, kakovost posameznega kristala pa je očitno izboljšana.