Tac prevleka rezervni del

To polprevodnikTac prevleka ploščaje poseben material, ki se pogosto uporablja vpolprevodnikProces izdelave. V kombinaciji z visoko trdoto in odpornostjo, visoko temperaturno odpornostjo, korozijsko odpornostjo, nizkim koeficientom trenja in dobra toplotna prevodnost ima tac prevlečna plošča nenadomestljiva vlogo pri številnih povezavah polprevodniške predelave.

Na splošno aplikacijeTac prevlečene ploščePri obdelavi polprevodnikov so naslednje:

● CVD/ALD rastna podlaga: Visoko temperaturna odpornost, kemična stabilnost in nizki koeficient trenja plošč, prevlečenih s TAC, so idealni substrati za rast CVD/ALD. Zagotovi lahko stabilno rastno okolje za zagotovitev enakomernosti in gostote filma.

●  Plošča za jedkanje maske: Visoka trdota in korozijska odpornost plošč, prevlečenih s TAC, omogočajo, da prenesejo visokoenergijske procese, kot so jedkanica v plazmi, kot plošče za jedjo, ki ščitijo osnovni film.

●  CMP polirna blazinica: Odpornost proti obrabi in koeficient trenja trenja plošč, prevlečenih s TAC, sta idealni materiali za CMP polirajoče blazinice, ki lahko učinkovito odstranijo delce in napake na površini filma.

●  Cev s pečjo visoke temperature: Visoko temperaturna odpornost in korozijska odpornost plošč, prevlečenih s TAC, omogočata uporabo kot cevi za peči v peči visoke temperature za visoko temperaturno žarjenje, difuzijo in druge procese.

CVD TAC prevleka tehničnih parametrov：

Vetek Semiconductor TAC prevleka Rezervni del trgovine z izdelki：