Komponente planetarnega reaktorja Aixtron G10 Solid SiC

1. Ključne značilnosti in prednosti

• Popolnoma gosta struktura trdnega SiC brez veziv za vrhunsko odpornost proti obrabi in koroziji

• Odlična toplotna prevodnost in odpornost na toplotni udar pri temperaturah nad 1500 °C

• Ultra nizko nastajanje delcev in visoka čistost, kar zmanjšuje tveganje kontaminacije

• Izjemna kemična inertnost proti procesnim plinom, ki se uporabljajo pri SiC epitaksiji

• Dolga življenjska doba pri ponavljajočih se ciklih visoke temperature

• Natančno strojno obdelan do ozkih dimenzijskih toleranc za zanesljivo prileganje in stabilnost procesa

 2. Tipične aplikacije

Ti dodatki Solid SiC se uporabljajo na ključnih funkcionalnih področjih reaktorja Aixtron G10, vključno z:

• Pokrivne plošče in izbrani pokrivni elementi

• Zaščitni obroči in visoko obrabni deli

• Natančni zatiči, podložke in majhni strukturni deli

• Drugi vložki visoke čistosti po meri, izpostavljeni intenzivnemu pretoku plina ali toplotni obremenitvi

Podpirajo stabilno porazdelitev temperature, enakomerno dovajanje plina in nizko gostoto napak med epitaksialno rastjo velike količine SiC za močnostne MOSFET-je, diode in sorodne naprave s širokim pasovnim presledkom.

3. Zakaj izbrati VeTek Solid SiC za Aixtron G10?

VeTek Semiconductor kot specializiran proizvajalec polprevodniških materialov zagotavlja:

• Komponente iz trdnega SiC visoke čistosti, prilagojene za sisteme Aixtron G10, na primer: pokrivni obroč，notranji/zunanji pokrovi，podporna plošča，satelitski disk，susceptor

• Stroga kontrola čistosti in natančna CNC obdelava

• Dopolnilne rešitve, vključno z grafitom, prevlečenim s CVD SiC, in deli, prevlečenimi s TaC, za popolno pokritost toplotnega polja

• Zasnove po meri, prilagojene posebnim procesnim pogojem in konfiguracijam reaktorja

Naši dodatki Solid SiC strankam pomagajo povečati produktivnost platforme Aixtron G10 – visok izhod rezin, odlična debelina in enakomernost dopinga ter konkurenčni stroški lastništva – ob podaljševanju življenjske dobe komponent in zmanjšanju izgube izkoristka, povezane z delci.