Keramična elektrostatična vpenjalna glava iz aluminijevega nitrida (AlN).

1.Prednosti

• AlN keramika visoke čistosti s toplotno prevodnostjo do ~180 W/m·K za učinkovit prenos toplote in enakomernost temperature

• Močna električna izolacija in visoka volumska upornost podpirata stabilno vpenjanje pri 1–3 kV (na voljo so višje napetosti)

• Materiali dielektričnih plasti po meri in postavitve elektrod: Coulomb ali Johnsen–Rahbek (JR); eno ali večconsko

• Hitro delovanje vpenjanja in odpenjanja, običajno pod 0,1 sekunde

• Mikrostrukture površinskih jamic do premera ~300 μm, kar zmanjša kontaktno površino na ~1 %

• Visoka sposobnost ravnosti; tipična globalna ravnost reda 0,5–3 μm PV za platforme razreda 300 mm

• Gosta mikrostruktura s skoraj ničelno absorpcijo vode in dobro kemično odpornostjo za procesna okolja

2.Tipične aplikacije

Keramične elektrostatične vpenjalne glave iz aluminijevega nitrida se uporabljajo v procesnih korakih, ki zahtevajo varno držanje rezin in nadzorovano toplotno obnašanje:

• Jedkanje s suho plazmo (ICP / RIE) in sorodni komorni postopki

• CVD, PEALD, termični ALD in druge stopnje nanašanja tankega filma

• Moduli za žarjenje in termični proces, ki zahtevajo enotno temperaturo rezin

• Inšpekcijske, meroslovne in precizne stopnje, kjer sta kritična majhna količina delcev in stabilno vpenjanje

3.AlN razredi materialov – tipične lastnosti

VeTek ponuja več razredov aluminijevega nitrida za uravnoteženje toplotne prevodnosti, mehanske trdnosti in stroškov za modele ESC:

Enote: Toplotna prevodnost v W/(m·K); dielektrična trdnost v kV/mm; prostorninska upornost v Ω·cm (25 °C); dielektrična konstanta pri 1 MHz. Vrednosti so tipične in se lahko razlikujejo glede na proces in geometrijo dela.

4.Tipični konstrukcijski parametri ESC

5.Zakaj Choose VeTek AlN elektrostatične vpenjalne glave?

VeTek Semiconductor združuje napredno AlN keramiko z natančno proizvodnjo ESC za kupce polprevodnikov, ki potrebujejo tako toplotno zmogljivost kot zanesljivo vpenjanje:

• Več razredov AlN s toplotno prevodnostjo od ~90 do ~180 W/m·K za ujemanje toplotnih stroškov procesa

• Prilagodljiva elektroda in dielektrična zasnova za Coulombovo ali JR vpenjanje

• Natančen nadzor ravnosti, površinske mikrostrukture in električne izolacije

• Popolna podpora v življenjskem ciklu: načrtovanje, nova gradnja in večnivojska prenova

Za orodja za jedkanje, nanašanje in termično obdelavo, ki so odvisna od enakomerne temperature rezin in čistega, ponovljivega vpenjanja, keramične elektrostatične vpenjalne glave VeTek iz aluminijevega nitrida zagotavljajo visoko zmogljivo keramično platformo, podprto z inženirsko podporo, osredotočeno na uporabo.