PECVD Graphite Boat

VETEKSEMON je profesionalni kitajski proizvajalec in dobavitelj grafitnega čolna Pecvd.

Kakšna je vloga Vetek polprevodniške sončne celice (prevleka) PECVD grafitna čoln?

Kot nosilec običajnih silicijevih rezin, ki jih proizvaja postopek prevleke, ima grafitni čoln veliko rezin čolnov z določenimi intervali v strukturi, med obema sosednjima rezinoma čolnov pa je zelo ozek prostor, silicijeve rezine pa so nameščene na obeh straneh praznih vrat.

Ker ima grafit materiala PECVD grafit grafit dobre električne in toplotne prevodnosti, se izmenična napetost vpraša v obeh sosednjih čolnih, tako da dva sosednja čolna tvorita pozitiven in negativni drogovi, ko v komori pride do določenega tlaka in plina, lahko žareči med dvema čolnoma razkroji SIH4 in NH3. Sinxove molekule se oblikujejo in odlagajo na površini silicijeve rezine, da se dosežejo namen prevleke.

PECVD grafitni čolni se običajno uporabljajo kot nosilci za prevoz silicijevih rezin ali drugih materialov za zagotovitev varnega ravnanja in prevoza teh materialov v okolju visoke temperature in plazme. Na primer, v procesu izdelave polprevodnikov so Veeksemicon -ovi PECVD grafitni čolni zasnovani za plazemske procese kemičnega nalaganja hlapov. Grafitni čoln igra vlogo odlaganja pasivacijskih plasti silicijevega nitrida (SINₓ) in nizke dielektrične konstantne (nizke K) filme.

V fotovoltaičnem polju se PECVD grafitni čolni uporabljajo za pripravo tanko-film sončnih celic na osnovi silicija (kot sta amorfni silicijev a-si: H) in plasti pasivacijskih plasti Perc celic. Veexemicon's PECVD grafitni čoln optimizira postopek prevleke z učinkovito razmikom silicijevih rezin in sproži sijaj izcedek, da se doseže enakomerni odlaganje prevleke.

Še pomembneje pa je, da lahko Veteksemicon zagotavlja prilagojene izdelke in tehnične storitve ter lahko oblikuje in izdeluje izdelke grafitnih čolnov različnih specifikacij glede na vaše dejanske zahteve procesa. Iskreno se veselimo, da bomo postali vaš dolgoročni partner.

In Prednosti PECVD grafitnega čolna v primerjavi z navadnim grafitnim čolnom, samo kliknite