Grafitni obroč, prevlečen s poroznim tantalovim karbidom (TaC).

Lastnosti izdelka

• Osnovna oprema:Namenjeno za peči za rast monokristalov SiC, ki delujejo s tehnologijo PVT.
• Primarna uporaba:Primerno za sisteme termičnega polja pri rasti kristalov SiC polprevodnikov tretje generacije.
• Visokotemperaturna stabilnost:Prevleka TaC ohranja strukturno celovitost pri ultravisokih temperaturah, kar podpira podaljšano delovanje v zahtevnih toplotnih okoljih.
• Zaščita pred korozijo:Gosta plast TaC CVD ščiti grafitno podlago pred silicijevimi hlapi, plini, ki vsebujejo ogljik, in drugimi jedkimi vrstami, ki nastanejo med rastjo SiC.
• Učinkovitost toplotnega polja:Porozna grafitna osnova pomaga pri porazdelitvi toplote in transportu pare, kar pomaga ohranjati stabilne pogoje rasti.
• Nizka kontaminacija:Izhodni materiali visoke čistosti in gosta prevleka omejujejo sproščanje nečistoč in izločanje delcev, kar koristi kakovosti kristalov.
• Podaljšana življenjska doba:Plast TaC izboljša odpornost proti oksidaciji, trdoto površine in splošno vzdržljivost pri povišanih temperaturah.
• Adhezija premaza:Postopek CVD ustvari močno vez med filmom TaC in grafitnim substratom.
• Možnosti po meri:Dimenzije, strukturne podrobnosti in specifikacije prevleke je mogoče prilagoditi, da ustrezajo različnim zahtevam peči za rast SiC.

Tehnične specifikacije

Aplikacije

VETEK porozni taC prevlečeni grafitni obroč se uporablja predvsem v:

• Rast monokristala SiC preko PVT
• Proizvodnja polprevodnikov tretje generacije
• Proizvodnja substrata SiC
• Sistemi toplotnega polja v pečeh za rast kristalov
• Visokotemperaturna obdelava polprevodnikov
• Napredne grafitne komponente vroče cone

pogosta vprašanja

1. Kaj je porozni grafitni obroč s prevleko iz TaC?

Je komponenta termičnega polja za peči za rast kristalov SiC. Združuje porozno grafitno strukturo s prevleko CVD TaC za zagotavljanje toplotnega upravljanja in zaščite pred visokotemperaturno korozijo.

2. Zakaj uporabljati prevleko iz TaC za rast kristalov SiC?

TaC zagotavlja stabilnost pri visokih temperaturah in kemično odpornost. Ščiti grafit pred napadom silicijeve pare in pomaga vzdrževati čisto in stabilno rastno okolje.

3. Kaj ponuja struktura poroznega grafita?

Porozna oblika podpira porazdelitev toplote in transport plina znotraj peči, kar prispeva k stabilnim pogojem rasti kristalov SiC.

4. Ali lahko VETEK izdela prilagojene grafitne obroče, prevlečene s TaC?

ja VETEK ponuja prilagajanje na podlagi risb strank, načrtov peči in potreb procesa, vključno z dimenzijami, konfiguracijo substrata in parametri premaza.