Kvarčna pečna cev za difuzijsko peč

1. Ključne značilnosti in prednosti

• Dehidroksiliran taljeni kremen ultra visoke čistosti (SiO₂ ≥ 99,999 %) s kovinskimi nečistočami, nadzorovanimi na ppb, in izjemno nizko vsebnostjo hidroksila

• Dolgotrajna delovna temperatura do 1100 °C; kratkotrajna največja odpornost do 1200 °C

• Odlična odpornost na toplotne udarce po žarjenju za popolno razbremenitev napetosti—odporen proti razpokam pri hitrih temperaturnih spremembah

• Izjemna kemična inertnost proti oksidacijskim, redukcijskim in procesnim plinom, ki vsebujejo halogene; primeren za plazmo in korozivne atmosfere

• Zelo nizko vakuumsko izločanje plinov; gladka notranja stena zmanjša kopičenje stranskih produktov in podpira ponovljivost postopka

• Enodelno oblikovanje z enakomerno debelino stene, visoko koaksialnostjo in natančno obdelanimi konci za zanesljivo tesnjenje

• Prilagodljive strukture: ravne cevi, reducirne cevi, cevi s prirobnico, podaljšane dolžine in posebne končne konfiguracije za navpične ali vodoravne peči

2. Tipične aplikacije

Cevi iz kvarčne peči VeTek se pogosto uporabljajo kot reakcijska komora jedra v:

• Peči za termično oksidacijo (suha/mokra oksidacija)

• Difuzijske peči za vnos dopantov (B, P, As itd.)

• LPCVD sistemi za tankoplastno nanašanje

• Vakuumsko žarjenje in drugi postopki visokotemperaturne toplotne obdelave

• Združljivo s 4-palčnimi, 6-palčnimi, 8-palčnimi in 12-palčnimi ploščami (Si, SiC, GaN, safirni substrati)

Podpirajo logiko, pomnilnik, napajalne naprave, MCU, LED, MEMS in proizvodne linije polprevodnikov s širokopasovno vrzeljo, ki zahtevajo enakomernost stabilne temperature, nadzor pretoka plina in izjemno čista procesna okolja.

3. Ključni tehnični parametri

• Material: polprevodniški dehidroksiliran taljeni kremen (SiO₂ ≥ 99,999 %), malo hidroksila, malo kovinskih nečistoč

• Združljivost rezin: 4 / 6 / 8 / 12 palcev

• Dolgotrajna delovna temperatura: −20 °C do 1100 °C; kratkotrajni vrh do 1200 °C

• Postopek: termično oblikovanje v enem kosu, homogenizacija stene, končna obdelava, žarjenje za razbremenitev napetosti, preizkus puščanja s helijem, ultra čisto čiščenje

• Razpoložljive strukture: ravna cev, reducirna cev, cev s prirobnico, podaljšana cev / cev po meri, posebne končne konfiguracije

• Prilagoditev: Notranji/zunanji premer, dolžina, debelina stene, specifikacije prirobnic in posebne geometrije po risbah strank

4. Zakaj izbrati VeTek Quartz Furnace Tubes?

VeTek Semiconductor kot profesionalni proizvajalec polprevodniških kvarčnih komponent ponuja:

• Cevi iz kvarčne peči visoke čistosti, izdelane za opremo za oksidacijo, difuzijo, LPCVD in žarjenje

• Stroga kontrola čistosti, dimenzijska natančnost in čistoča, primerna za proizvodnjo čistih prostorov razreda 10 / razreda 100

• Popolna prilagoditev in zasnove, združljive z OEM, za navpične in vodoravne cevne peči

• Dopolnilni polprevodniški kvarčni izdelki, vključno z rezinami, lončki, oblogami in drugimi procesnimi komponentami

Naše cevi iz kvarčne peči pomagajo vzdrževati stabilne pogoje toplote in pretoka plina, zmanjšujejo kontaminacijo z delci in kovinami ter podaljšujejo življenjsko dobo pri neprekinjenem visokotemperaturnem ciklu – kar podpira višji izkoristek in nižje stroške lastništva pri termični obdelavi polprevodnikov.