Polprevodniški Quartz Bell Jar

Polprevodniški kremenčev kozarec iz kremena je izdelan iz kremenčevega materiala z visoko čistostjo. Ima odlično toplotno stabilnost in močno korozijsko odpornost in se uporablja na številnih področjih. V industriji polprevodnikov: polprevodniški kremenčev kozarec z belcem polprevodnika zagotavlja nadzorovano okolje za odlaganje tankih filmov na rezine med kemičnim odlaganjem hlapov (CVD). Podpredsednik kremenčevega kozarca za polprevodniške stopnje se uporablja tudi v procesih, ki zahtevajo vakuumsko tehnologijo, kot so proizvodnja optičnih premazov, kovinskih premazov in drugih vrst tankih filmskih materialov. Podmenski kremenčev kozarec za polprevodniške stopnje je potreben tudi v številnih fizičnih in materialnih eksperimentih, ki zahtevajo visoko čistost, vakuumsko zaprto okolje.

Scenariji uporabe polprevodniške industrije:

Polisilicij je silicijev material, sestavljen iz številnih majhnih zrn, ki se pogosto uporablja v integriranih vezjih, sončnih celicah in na drugih področjih. Kemično naparjevanje (CVD) je ena glavnih metod za pripravo polikristalnega silicija. Osnovno načelo je, da se izvorni plin silicija, kot je SiH4, razgradi pri visoki temperaturi in odloži na substrat, da nastane polikristalni silicij:

SIHCL3 + H2 ⇒ Si + 3HCl

V pogojih visoke temperature in vakuuma je bil plin iz silicijevega vira dovajan v kemično odlaganje hlapov. Končno dobimo polikristalni silicij. Popolnega kozarca s kremenikom polprevodnika je pomemben del reaktorja polikristalnega silicijevega CVD.

Polikristalni reaktor silicijevega CVD

Pod visoko temperaturno reakcijo CVD lahko polprevodniški kremenčev kozarec za stopnjo Bell -a zagotovi enakomerno toplotno okolje. Visoka temperaturna odpornost kremenčevega materiala z visoko čistostjo (lahko prenese temperature do približno 1100 ° C) omogoča, da stalno deluje v reakcijah CVD in zagotavlja enakomerno porazdelitev temperature v reakcijskem območju. V procesu CVD obstaja veliko strupenih komponent plina, kot so PH3 itd. Polprevodniški kremenčev kozarec lahko učinkovito izolira kemične pline v reakcijski komori iz zunanjega okolja, da se prepreči škodljivo uhajanje plina. Korozijska odpornost kremenčevega materiala z visoko čistostjo omogoča tudi drugi materiali, da med postopkom CVD dolgo časa stabilno delujejo in ga ni enostavno korodirati ali poškodovati.

Kremen kozarec se uporablja v povezavi s kremenčevo cevjo za ohranjanje toplote in navpičnim kremenčevim čolnom in se večinoma uporablja v epitaksialnem procesu proizvodnje čipov v integriranem vezju. Epitaksialna peč na splošno sprejme navpično strukturo, s kremenčevim kozarcem na zunanji strani navpičnega kremenčevega čolna in cevjo za ohranjanje toplote kremenčev.

Še ena tipična uporaba polprevodniškega kremenčevega kozarca v visokem temperaturi: za ogrevanje serije ortodontskih delov na 704 ℃ v 1 sekundi v inertni atmosferi za drgnjenje:

Vetek Semiconductor ima zrelo tehnično ekipo. Ne glede na to, v kakšni obliki ali materialu z visoko čistostjo kremenčevo kozarček, ki ga potrebujete, ga lahko prilagodite za vas.

Trgovine z izdelki za polprevodnike Vetek: