Tehnologija termičnega brizganja polprevodnikov

Tehnologija polprevodniškega termičnega razprševanja je napreden postopek, ki razprši materiale v staljenem ali polstaljenem stanju na površino substrata, da se oblikuje premaz. Ta tehnologija se pogosto uporablja na področju proizvodnje polprevodnikov, predvsem za ustvarjanje premazov s posebnimi funkcijami na površini substrata, kot so prevodnost, izolacija, odpornost proti koroziji in odpornost proti oksidaciji. Glavne prednosti tehnologije termičnega brizganja vključujejo visoko učinkovitost, nadzorovano debelino prevleke in dober oprijem prevleke, zaradi česar je še posebej pomembna v procesu izdelave polprevodnikov, ki zahteva visoko natančnost in zanesljivost.

Uporaba tehnologije termičnega razprševanja v polprevodnikih

Jedkanje s plazemskim žarkom (suho jedkanje)

Običajno se nanaša na uporabo sijaja za ustvarjanje aktivnih delcev v plazmi, ki vsebujejo nabitih delcev, kot so plazma in elektroni ter visoko kemično aktivne nevtralne atome in molekule ter prosti radikali, ki se razpršijo na del, reagira Izdelki in so odstranjeni, s čimer se zaključi tehnologija jedkanja prenosnih vzorcev. To je nenadomestljiv postopek za uresničevanje prenosa finih vzorcev z visoko zvestobo iz predloge fotolitografije na rezine pri proizvodnji integriranih vezij ultra velikega obsega.

Ustvarilo se bo veliko aktivnih prostih radikalov, kot sta CL in F. Ko jemljejo polprevodniške naprave, korodirajo notranje površine drugih delov opreme, vključno z aluminijastimi zlitinami in keramičnimi konstrukcijskimi deli. Ta močna erozija povzroči veliko število delcev, ki ne potrebujejo le pogosto vzdrževanje proizvodne opreme, ampak tudi povzroči okvaro komore jedkanja in poškodbe naprave v hudih primerih.

Y2O3 je material z zelo stabilnimi kemičnimi in toplotnimi lastnostmi. Njegova tališča je daleč nad 2400 ℃. Lahko ostane stabilen v močnem korozivnem okolju. Njegova odpornost na bombardiranje v plazmi lahko močno podaljša življenjsko dobo sestavnih delov in zmanjša delce v jedkanici.

Glavna raztopina je razprševanje visoke čistosti Y2O3 prevleke za zaščito jedkanice in drugih ključnih komponent.