SiC Coating Epi sprejemnik

Vetek Semiconductor je profesionalni proizvajalec na Kitajskem za tako prevleko EPI.

Vetek Semiconductor's Sic prevleka EPI obstreznik je izdelan iz grafita in silicijevega karbida. Ta izdelek SIC prevleka uporablja uvoženi grafit, ki ima bolj stabilno zmogljivost in dolgo življenjsko dobo in ga zelo hvalijo naši evropski in ameriški kupci. Hkrati je koncentracija obloge EPI SiC prevleke pod 5ppm, enotnost pa zelo dobra. Po neprekinjenih tehnoloških nadgradnjah Vetek Semiconductor uporablja nov postopek za dobro ujemanje med koeficientom toplotne ekspanzije sic in grafitnega materiala.

SiC Coating Epi Susceptor se posebej uporablja pri visokih temperaturah in korozivnih okoljih v polprevodniški opremi. SiC Coating Epi suceptor se pogosto uporablja v opremi, kot je AIXTRON, zlasti v procesu globoke ultravijolične epitaksije (DUV epitaksija), pri čemer igra ključno vlogo.

V procesu globoke ultravijolične epitaksije (DUV Epitaxy) je v kombinaciji z odlično odpornostjo na visoke temperature in odpornostjo proti koroziji SiC Coating Epi Susceptor običajno nameščen okoli reakcijske komore v opremi AIXTRON kot nosilec med postopkom epitaksije iz poškoduje ali kontaminira opremo.

Ta Epi suceptor s prevleko SiC je zasnovan za globoko ultravijolično epitaksijo. Strogo nadzorujemo prevleko iz silicijevega karbida, vključujemo tehnologijo vmesnega sloja za zmanjšanje težav, ki jih povzročajo razlike v koeficientih toplotnega raztezanja med prevlekami iz grafita in silicijevega karbida, s čimer podaljšamo življenjsko dobo izdelka. Trenutno je naš izdelek prejel številna priznanja in je priznan kot eden najboljših na domačem trgu.

Kot vodilni v panogi v izdelkih SIC prevleke Vetek Semiconductor podpira storitve prilagajanja izdelkov in zadovoljive cene izdelkov ter se veseli vašega nadaljnjega posvetovanja.

SEM podatki CVD SIC filma:

Vetek Semiconductor Sic prevleka za izdelke za izdelke:

Pregled industrijske verige epitaksije polprevodniških čipov: