Keramika iz silicijevega karbida

VeTek Semiconductor je vaš inovativni partner na področju obdelave polprevodnikov. Z našim obsežnim portfeljem kombinacij materialov Silicon Carbide Ceramics za polprevodnike, zmogljivostmi izdelave komponent in storitvami inženiringa aplikacij vam lahko pomagamo premagati velike izzive. Inženirska tehnična keramika iz silicijevega karbida se pogosto uporablja v industriji polprevodnikov zaradi izjemne učinkovitosti materiala. Izjemno čista silicijeva karbidna keramika VeTek Semiconductor se pogosto uporablja v celotnem ciklu proizvodnje in obdelave polprevodnikov.

DIFUZIJA & LPCVD PROCESIRANJE

VeTek Semiconductor zagotavlja inženirske keramične komponente, posebej zasnovane za serijsko difuzijo in zahteve LPCVD, vključno z:

• Pregrade in držala
• Injektorji
• Obloge in procesne cevi
• Konzolne lopatice iz silicijevega karbida
• Ladjice in podstavki iz oblatov

SiC konzolno veslo SiC procesne cevi Procesna cev iz silicijevega karbida SiC navpični čoln za rezine SiC vodoravni čoln za rezine SiC vodoravni kvadratni čoln za rezine SiC LPCVD ladja za rezine SiC vodoravni čoln SiC keramični tesnilni obroč

KOMPONENTE PROCESA JEDKANJA

Zmanjšajte kontaminacijo in nenačrtovano vzdrževanje s komponentami visoke čistosti, izdelanimi za zahtevno obdelavo s plazemskim jedkanjem, vključno z:

HITRA TERMIČNA OBDELAVA & KOMPONENTE EPITAKSILNEGA PROCESA

VeTek Semiconductor zagotavlja napredne materialne komponente, prilagojene za uporabo pri visokotemperaturni toplotni obdelavi v industriji polprevodnikov. Te aplikacije zajemajo postopke RTP, Epi, difuzijo, oksidacijo in žarjenje. Naša tehnična keramika je zasnovana tako, da prenese toplotne udarce, kar zagotavlja zanesljivo in dosledno delovanje. S komponentami VeTek Semiconductor lahko proizvajalci polprevodnikov dosežejo učinkovito in visokokakovostno termično obdelavo, kar prispeva k splošnemu uspehu proizvodnje polprevodnikov.