Tac prevleka za vrtenje plošče

TAC prevlečna plošča Vetek Semiconductor ima visoko čistost, vsebnost nečistoče manj kot 5ppm in gosto in enakomerno strukturo, ki se pogosto uporablja v sistemih LPE EPI, sistemih Aixtron, sistemih Nuflare, sistemih CVD, sistemih VEECO, TSI Systems.

● Odlične mehanske lastnosti:

Trdota prevleke do 2300HV, z odlično odpornostjo na obrabo.

Adhezija med prevleko in substratom je močna in ni enostavno odpadati ali olupiti.

Premaz lahko še vedno ohranja dobro strukturno stabilnost pri visoki temperaturi.

●  Odlična korozijska odpornost:

Sam material TAC ima odlično kemično stabilnost in korozijsko odpornost.

Premali Vetek Semiconductor delujejo dobro v različnih agresivnih plinskih okoljih.

Lahko učinkovito zaščiti notranje komponente opreme pred poškodbami korozije.

● Visoka površina:

Vetek Semiconductor uporablja natančen postopek prevleke za izdelavo želenega zaključka.

Nizka hrapavost površine pomaga zmanjšati kopičenje in odlaganje delcev.

● Doslednost prevleke je dobra:

Vetek Semiconductor ima sistem za nadzor kakovosti zvoka, ki zagotavlja dosledno delovanje med serijami.

Debelina premaza je enakomerno razporejena in ni očitnih lokalnih napak.

● Odlična praktična uspešnost aplikacij:

TAC prevleka Vetek Semiconductor se pogosto uporablja pri številnih dobro znanih proizvajalcih epitaksialne opreme doma in v tujini.

Fizični parameter izdelka TAC prevlečene vrtene plošče:

Tantalum karbidni premaz na mikroskopskem prerezu