CVD SiC prevlečen grafitni susceptor za nosilec rezin

1. Prednosti izdelka

• Material visoke čistosti:Polprevodniški grafitni material in gosta SiC prevlečna struktura zmanjšata tveganje kontaminacije in izboljšata zanesljivost grafitnega suceptorja s CVD SiC prevleko.
• Odlična toplotna enakomernost:Optimizirana grafitna struktura in prevleka SiC zagotavljata stabilen prenos toplote in enoten nadzor temperature rezin.
• Vrhunska kemična odpornost:Gost SiC premaz ponuja močno odpornost proti procesnim plinom in korozivnim okoljem.
• Dolga življenjska doba:Visoka trdota in odpornost proti obrabi izboljšata vzdržljivost pri visokotemperaturnih pogojih epitaksije.
• Nizko nastajanje delcev:Gosta površina SiC CVD zmanjša sproščanje delcev in izboljša zanesljivost postopka rezin.
• Zmogljivost oblikovanja po meri:Na voljo v različnih velikostih, strukturah in konfiguracijah glede na zahteve opreme.

2. Tehnične specifikacije

3. Aplikacije

• Postopek epitaksije SiC:Grafitni suceptor se uporablja kot nosilec rezin v opremi za epitaksijo SiC, ki podpira substrate SiC med visokotemperaturno epitaksialno rastjo.
• Postopek silikonske epitaksije:Uporablja se v silicijevih epitaksialnih reaktorjih za podporo rezinam in vzdrževanje stabilnih toplotnih pogojev.
• Epitaksija MOCVD:VETEK grafitni sprejemniki so primerni za MOCVD, LED epitaksijo, GaN epitaksijo, silicijevo epitaksijo in druge postopke izdelave polprevodnikov, ki zahtevajo odlično toplotno enakomernost in kemično stabilnost.
• Oprema za proizvodnjo polprevodnikov:Združljiv z različnimi platformami za epitaksijo, vključno z vodoravnimi pečmi LPE, Aixtron, NuFlare in sorodno polprevodniško opremo.

4. Zakaj izbrati VETEK?

VETEK ponuja prilagojene rešitve za grafitne susceptorje, prevlečene s CVD SiC, ki vključujejo čiščenje grafita, natančno strojno obdelavo, CVD prevleke in zmogljivosti pregledovanja. Naše polprevodniške grafitne prijemalne izdelke odlikuje visoka čistost, enakomerna debelina prevleke, odlična toplotna zmogljivost in dolga življenjska doba za zahtevne aplikacije nosilca rezin.