Storitev čiščenja grafitnih delov s prevleko CVD SiC

1. Izzivi, s katerimi se morda soočate

• Plast AlN, ki jo je težko odstraniti:Termično čiščenje pri 1300 °C še vedno ne more učinkovito jedkati preostale plasti AlN.

• Učinek ponavljajočega se spomina:Učinek površinskega spomina povzroča nestabilen pretok plina v reaktorju, kar vpliva na konsistentnost procesa.

• Cikel čiščenja Impacts prepustnost:Običajno vsakih 16 procesnih ciklov (4–5 suceptorjev) potrebuje zunanje čiščenje.

• Zaskrbljenost zaradi poškodovanja dragega premaza:Zaradi pomanjkanja lastnih izkušenj s kemičnim čiščenjem operaterji oklevajo pri poskusih agresivnega čiščenja.

2. Naša rešitev – zasnovana za procese GaN/AlN/AlGaN

• Profesionalno čiščenje:Postopek po meri, posebej razvit za grafitne dele, prevlečene s CVD SiC. Od kupca ni potrebna kemijska formula.

• Varnost premaza:Strogo ščiti 100 µm CVD SiC prevleko. Absolutna ničelna izguba debeline po čiščenju.

• Preverljivi rezultati:Celotno potrdilo o analizi (COA), ki zajema pet osnovnih dimenzij. Podatki pripravljeni za arhiviranje in presojo kakovosti.

3. Pet temeljnih meril za sprejem

Strogo usklajeno s kritičnimi zahtevami uporabnikov polprevodniške epitaksije:

1. Brez izgube premaza– Debelina prevleke SiC se po čiščenju nikoli ne zmanjša (preverjanje primerjave debeline pred in po njej).

2. Brez površinske deformacije– Ploskost in geometrijska natančnost se strogo preverjata, da se prepreči fizična deformacija.

3. Odpravite spominski učinek– Analiza XPS za ostanke Al/Ga potrjuje temeljito odstranitev virov spominskega učinka.

4. Nič kovinskih ostankov– Testiranje ICP-MS za Fe, Cu, Ni in druge kovine potrjuje, da ni ostankov kovinskih nečistoč.

5. Brez odvečnih delcev– Preskus delcev QIII in preverjanje čistosti preprečujeta nestabilnost pretoka plina, ki jo povzročajo preostali delci.

4. Pregled dostave in poročilo o potrdilu o originalnosti

Vsaka serija je dostavljena s popolnimi podatki o preverjanju v petih osnovnih dimenzijah:

5. Veljavni izdelki in ozadje postopka

Parametri izdelka

Storitveni proces

1. Povpraševanje– Pošljite fotografije delov / model / količino za oceno.

2. Citat– Tehnična ocena in podroben predlog čiščenja s predračunom.

3. Pošiljanje– Pošljite dele k nam ali se dogovorite za prevzem.

4. Čiščenje– Profesionalno čiščenje + popoln večdimenzionalni pregled.

5. Poročilo– Izdano poročilo COA in vrnjeni očiščeni deli.

6. Nadaljnje ukrepanje– Sledenje učinkom in stalna tehnična podpora.

6. Zakaj izbrati čistilni servis VETEK?

VETEK združuje globoko strokovno znanje in izkušnje na področju tehnologije prevlek CVD SiC s posebnimi zmožnostmi čiščenja grafitnih susceptorjev visoke vrednosti. Zavedamo se kritičnega pomena celovitosti prevleke, nadzora delcev in čistosti postopka pri epitaksiji GaN/AlN. Naša storitev je zasnovana za stranke, ki potrebujejo absolutno varnost za drage prevleke CVD SiC, medtem ko v celoti rešujejo težave s spominskim učinkom in nestabilnostjo pretoka plina.

· Na voljo je poskusno čiščenje za preverjanje majhnih serij

· Celotno poročilo COA je priloženo vsaki dostavi

· Nič tveganja poškodbe premaza ali nove kontaminacije

· Strokovno · Varno · Preverljivo