Čoln za kremenčevo rezino z visoko čistostjo

VeTek Semiconductor's High Purity Quartz Wafer Boat je narejen iz kremena ultra visoke čistosti, ki ima značilnosti nizke vsebnosti hidroksila, visoke čistosti in močne odpornosti na visoke temperature. Ta material se pogosto uporablja tudi v industriji polprevodnikov kot material za difuzijske peči in komponente peči CVD. Kot vsebnik za prenašanje silicijevih rezin je bila rezina iz kremena visoke čistosti uporabljena v polprevodniških, fotovoltaičnih, kemičnih in drugih področjih.

Scenariji prijave

Najprej je polprevodniško polje. Postopek obdelave toplote rezin je zelo pomemben, vključno s toplotno oksidacijo, difuzijo, žarjenjem itd. S postopkom obdelave toplote dajemo rednim novim značilnostim.

Serijske cevi za peči se uporabljajo za procese obdelave polprevodniških rezin, kot so toplotna oksidacija, visoko temperaturna difuzija, žarjenje in odlaganje tankega filma. Paketna ogrevalna peč se uporablja predvsem za ogrevanje telesa peči s tuljavami za dokončanje toplotne obdelave. Glede na različne delovne konstrukcije lahko serijske cevi za jedro peči razdelimo na vodoravne peči in navpične peči:

(1) Visoko čisti Quartz Wafer Boat vodoravne peči je postavljen vodoravno, zato se imenuje vodoravna peč.

V postopku toplotne obdelave se rezina naloži na čoln za kremenčeve rezine visoke čistosti, počasi pošlje v cev kremenčeve peči, rezina pa se postavi v cono s konstantno temperaturo za obdelavo. Po čakanju, da se postopek konča, se Wafer used quartz boat počasi izvleče iz kremenčeve peči, da se prepreči poškodba rezine zaradi nenadnih temperaturnih sprememb. Horizontalne peči se pogosto uporabljajo v procesu difuzije integriranih vezij s premerom rezin manj kot 200 mm. 

Prednosti vodoravnih peči so preprost proces, dobra enakomernost med rezinami in sposobnost obdelave več rezin hkrati. Slabosti so počasna hitrost ogrevanja, velika velikost opreme, težave pri avtomatizaciji in enostaven vnos zunanjega zraka pri nalaganju in raztovarjanju rezin.

(2) Krečasti čoln z visoko čistostjo navpične peči je nameščen navpično, zato se imenuje navpična peč.

Rezina se naloži na kremenčev stolp in se počasi dvigne do cevi kvarčne peči za ogrevanje. Med postopkom segrevanja se bo čoln za rezine High Purity Quartz Wafer Boat počasi vrtel, da zagotovi enakomerno segrevanje rezin. Po obdelavi se bo kremenčev stolp počasi spustil, da bi se izognili temperaturnim spremembam, ki lahko povzročijo poškodbe rezin. Vertikalne peči se večinoma uporabljajo v procesu integriranega vezja rezin s premerom 200 mm in 300 mm. Osrednja tehnologija vertikalnih peči je visoko natančen nadzor temperaturnega polja, nadzor delcev, nadzor mikro-kisika v mikrookolju in motorizacija. Prednosti vertikalnih peči so tanka naravna oksidna plast, dobra enakomernost, enostavnejša avtomatizacija, majhen odtis opreme in serijska obdelava. Pomanjkljivost je počasna hitrost segrevanja.

Na fotovoltaičnem polju proizvodni proces fotovoltaičnih celic potrebuje kremenčeve čolne za prevoz in prevoz silicijevih rezin v postopku difuzije visokotemperature. Visokotemperaturna obdelava v dušiku, kisiku ali drugi inertni plinski atmosferi, kot sta difuzija fosforja ali difuzija bora, je pomemben korak v proizvodnem procesu sončnih celic. Namen je oblikovati PN križišče na silicijevi rezini.

Krečasti čoln ima v notranjosti natančno zasnovan reže, da zagotovi, da silicijana rezina ohranja natančen položaj med visokotemperaturnim difuzijskim postopkom in je enakomerno segreta. Ker ima kremenčev material dobro visokotemperaturno odpornost in kemično stabilnost, ne bo onesnažil silicijeve rezine, ki je pripomogla k ohranjanju visoke čistosti proizvodnega okolja.

Kot inovator in vodja v kitajskem trgu rezin, ne glede na to, ali se ukvarjate z industrijo polprevodnikov ali fotonapetostnim industrijo to za vas po vaših potrebah.

VeTek Semiconductor trgovine z izdelki: