Porozni grafit za rast kristalov SiC

SiC Crystal Growth Porous Graphite je material, narejen iz poroznega grafita z visoko nadzorovano strukturo por. Pri obdelavi polprevodnikov kaže odlično toplotno prevodnost, odpornost na visoke temperature in kemično stabilnost, zato se pogosto uporablja pri fizičnem naparjevanju, kemičnem naparjevanju in drugih postopkih, kar bistveno izboljša učinkovitost proizvodnega procesa in kakovost izdelka ter postane optimiziran polprevodnik. Materiali, ključni za delovanje proizvodne opreme.

V postopku PVD se porozni grafit za rast kristalov SiC običajno uporablja kot podlaga ali pritrditev substrata. Njegova funkcija je podpora rezini ali drugim substratom in zagotavljanje stabilnosti materiala med postopkom nanašanja. Toplotna prevodnost poroznega grafita je običajno med 80 W/m·K in 120 W/m·K, kar omogoča poroznemu grafitu hitro in enakomerno prevajanje toplote, izogibanje lokalnemu pregrevanju, s čimer preprečuje neenakomerno nanašanje tankih filmov, kar močno izboljša učinkovitost postopka .

Poleg tega je tipičen razpon poroznosti sic kristalnega rasti poroznega grafita 20% ~ 40%. Ta značilnost lahko pomaga razbiti pretok plina v vakuumski komori in preprečiti, da bi pretok plina med postopkom nanašanja vplival na enakomernost filmske plasti.

V postopku CVD zagotavlja porozna struktura SiC Crystal Growth Porous Graphite idealno pot za enakomerno porazdelitev plinov. Reaktivni plin se odloži na površino substrata s kemično reakcijo v plinski fazi, da nastane tanek film. Ta proces zahteva natančno kontrolo pretoka in porazdelitve reaktivnega plina. 20-40-odstotna poroznost poroznega grafita lahko učinkovito usmerja plin in ga enakomerno porazdeli po površini substrata, kar izboljša enakomernost in konsistenco nanesene plasti filma.

Porozni grafit se običajno uporablja kot cevi za peči, podlago ali materiali za maske v opremi CVD, zlasti v polprevodniških procesih, ki potrebujejo materiale z visoko čistostjo in imajo izjemno visoke zahteve za kontaminacijo z delci. Hkrati postopek CVD običajno vključuje visoke temperature, porozni grafit pa lahko ohrani fizično in kemično stabilnost pri temperaturah do 2500 ° C, zaradi česar je nepogrešljiv material v procesu CVD.

Kljub svoji porozni strukturi ima SiC Crystal Growth Porous Graphite še vedno tlačno trdnost 50 MPa, kar zadostuje za obvladovanje mehanskih obremenitev, ki nastanejo med proizvodnjo polprevodnikov.

Kot vodilni proizvajalec izdelkov iz poroznega grafita v kitajski industriji polprevodnikov je Veteksemi vedno podpiral storitve prilagajanja izdelkov in zadovoljive cene izdelkov. Ne glede na vaše posebne zahteve bomo poiskali najboljšo rešitev za vaš porozni grafit in se veselimo vašega posveta kadar koli.

Osnovne fizikalne lastnosti SiC Crystal Growth Porous Graphite:

Trgovine z izdelki VeTek Semiconductor SiC Crystal Growth Porous Graphite:

Pregled industrijske verige polprevodniških čipov Epitaxy: