TaC prevlečen prstan s tremi cvetnimi listi

VeTek Semiconductor je profesionalni kitajski proizvajalec in dobavitelj obroča s tremi cvetnimi listi, prevlečenim s TaC. Obroč s tremi cvetnimi listi, prevlečenim s TaC, se uporablja v sistemu nanašanja Aixtron G10 za sestavljene polprevodnike, G10-GaN 150/200 mm visoko zmogljiva epitaksija za moč GaN in RF aplikacije.

Prevleka VeTek Semiconductor TaC je nova generacija materiala, odpornega na visoke temperature, z boljšo visokotemperaturno stabilnostjo kot SiC, kot prevleka, odporna proti koroziji, prevleka, odporna na oksidacijo, prevleka, odporna na obrabo, se lahko uporablja v okolju nad 2000 ℃, pogosto se uporablja v letalski in vesoljski ultravisokotemperaturni deli vročih koncev, tretja generacija rasti polprevodniških monokristalov in druga področja.

Funkcije izdelka:

1. visoka čistost, vsebina nečistoče <5ppm

2. visoka temperaturna odpornost, korozijska odpornost, visoka gostota, visoka gostota

3. Kemično je inerten na amoniak, vodik, silan in silicij pri visoki temperaturi in ima dobro toplotno stabilnost.

4. Termični upornost lahko pospeši delovni cikel

5. Močna grafitna adhezija zagotavlja dolgo življenjsko dobo in brez preoblek.

6. Stroge dimenzijske tolerance.

Glavne aplikacije:

1. Epitaksialna rast

2. Enojna kristalna rast

3. Preusmeritev visokotemperaturne korozije

4. Šoba, odporna na visoke temperature in oksidacijo

5. Lopatice plinske turbine

Parameter izdelka obroča s tremi lističi, prevlečenega s TaC

Primerjajte trgovino s proizvodnjo polprevodnikov: