TAC prevleka za vrtenje

VETEK SEMUNDUCTOR TAC prevleka za vrtenje prevleke je ključna sestavina za ravnanje z rezinami pri obdelavi polprevodnikov. ToTac kajNašeIma odlično visoko temperaturno toleranco (tališče do 3880 ° C), kemično stabilnost in korozijsko odpornost, ki zagotavljajo visoko natančnost in visoko kakovost pri obdelavi rezin.

TAC prevleka za vrtenje prevleke (Tantalum ogljikovo prevleko za vrtenje prevleke) je ključna komponenta opreme, ki se uporablja pri predelavi polprevodnikov. Običajno je nameščen vOdlaganje kemičnih hlapov (CVD)in molekularno snop epitaksija (MBE) za podporo in vrtenje rezin, da se zagotovi enakomerno odlaganje materiala in učinkovito reakcijo. Ta vrsta izdelka znatno izboljša življenjsko dobo in zmogljivost opreme v visoki temperaturi in jedko okolju, tako da premaže podlagoprevleka Tantalum Carbon (TAC).

Občutek za vrtenje TAC je običajno sestavljen iz TAC prevleke in grafita ali silicijevega karbida kot materiala substrata. TAC je ultra visok temperaturni keramični material z izjemno visokim tališčem (tališče do 3880 ° C), trdoto (trdota Vickers je približno 2000 HK) in odlično kemično korozijsko odpornostjo. Vetek Semiconductor lahko učinkovito in enakomerno pokrije ogljikovo prevleko Tantalum na materialu substrata s pomočjo tehnologije CVD.

Obstreznik vrtenja je običajno izdelan iz visoke toplotne prevodnosti in materialov z visoko trdnostjo (grafit aliSilicijev karbid), ki lahko zagotavlja dobro mehansko podporo in toplotno stabilnost v visokotemperaturnih okoljih. Popolna kombinacija obeh določa popolno zmogljivost obrobja za vrtenje TAC prevleke pri podpori in vrtečih se rezinah.

TAC prevleka za vrtenje podpira in vrti rezino v procesu CVD. Trdota TAC Vickers je približno 2000 HK, kar mu omogoča, da se upira večkratnemu trenju materiala in igra dobro podporno vlogo, s čimer se zagotovi, da se reakcijski plin enakomerno porazdeli na površini rezin in material enakomerno odloži. Hkrati visoko temperaturna toleranca in korozijska odpornost TAC prevleke omogočata, da se dolgo uporablja v visoki temperaturi in korozivni atmosferi, ki se učinkovito izogne ​​kontaminaciji rezine in nosilca.

Poleg tega je toplotna prevodnost TAC 21 W/m · K, ki ima dober prenos toplote. Zato lahko obstreznik vrtenja TAC prevleče rezine enakomerno segreje v visokih temperaturnih pogojih in zagotovi enakomernost postopka nanašanja plina z rotacijskim gibanjem, s čimer ohrani doslednost in visoko kakovostRast rezin.

Prevleka Tantalum karbida (TAC) na mikroskopskem prerezu：

Fizikalne lastnosti TAC prevleke：

Trgovine za obstrežbo tac prevleke: