CVD nosilec RTP RTA, prevlečen s silicijevim karbidom (SiC).

Lastnosti izdelka

· Osnovna oprema:Zasnovan za sisteme hitrega termičnega žarjenja (RTA) in hitre toplotne obdelave (RTP).

· Primary Aaplikacija: Optimizirano za postopke žarjenja polprevodniških rezin.

· Opeocena Tetemperatura:Stabilno delovanje od 200°C do 700°C.

· Excellent Therneenakomernost: Zagotavlja enakomerno porazdelitev toplote za dosledno obdelavo rezin.

· Nizka vsebnost delcevGgeneracija: Gosta prevleka CVD SiC zmanjša kontaminacijo in izboljša proizvodni donos.

· Vrhunska kemična odpornost:Odporen na oksidacijo in korozivne procesne pline med termično obdelavo.

· Izjemeng TermOdpornost na udarce: Ohranja strukturno celovitost s ponavljajočimi se hitrimi cikli segrevanja in hlajenja.

· Dolga življenjska doba:Prevleka SiC, odporna proti obrabi, bistveno podaljša življenjsko dobo komponent in zmanjša stroške vzdrževanja.

· Po meriProizvodnja:Na voljo v različnih velikostih in konfiguracijah za ujemanje z različno opremo RTP/RTA.

Tehnične specifikacije

Aplikacije

·Hitro termično žarjenje (RTA)

· Hitra toplotna obdelava (RTP)

· Žarjenje silicijevih rezin

· Aktivacija dopanta

· Oksidacija

· Difuzija

·Proizvodnja sestavljenih polprevodnikov

·Izdelava MEMS

·Obdelava močnostnih polprevodnikov

pogosta vprašanja

1. Kaj je RTP/RTA prevoznik?

Nosilec RTP/RTA je podporna komponenta rezin, ki se uporablja v sistemih hitre toplotne obdelave in hitrega termičnega žarjenja. Varno drži polprevodniške rezine, hkrati pa zagotavlja enakomeren prenos toplote v celotnem termičnem ciklu.

2. Zakaj je prednostna prevleka CVD SiC?

V primerjavi z golim grafitom nudi prevleka CVD SiC vrhunsko odpornost proti oksidaciji, manjše nastajanje delcev, boljšo kemično stabilnost in bistveno daljšo življenjsko dobo.

3. Ali lahko VETEK zagotovi prilagojene nosilce RTP/RTA?

ja VETEK ponuja prilagojene nosilce RTP/RTA na podlagi risb strank.