Visoko čist neprozoren kvarčni ščit in zaklop za MOCVD

1. Tehnične specifikacije

Zagotavljamo visoko natančno obdelavo na podlagi vaših tehničnih risb, da zagotovimo popolno prileganje vašim posebnim modelom opreme.

2. Osnovna področja uporabe

● Zaščita procesa MOCVD: Služijo kot bistveni notranji ščiti/obloge za zaščito reakcijskega okolja.

● Polprevodniška epitaksija: Uporablja se kot visokonatančna zapirala za stabilizacijo toka in temperature med rastjo tankega filma.

● Proizvodnja polprevodnikov s širokopasovno vrzeljo: Združljivo z okolji z velikimi zahtevami za GaN in druge napredne materiale.

3. Zakaj izbrati VETEK Quartz Solutions?

● Vrhunsko upravljanje toplotnega sevanja: Naš mlečno bel kremen vsebuje visoko gostoto mikro mehurčkov, ki učinkovito razpršijo in blokirajo visokotemperaturno toplotno sevanje (>1000°C). Absorbira vidno in bližnjo infrardečo svetlobo grelnih elementov in jo pretvori v daljno infrardeče sevanje, kar zagotavlja zelo enakomerno ogrevanje.
● Nadzor kontaminacije in enostavno vzdrževanje: Kot žrtvena ali zamenljiva notranja obloga Quartz Shield ohranja reakcijsko komoro čisto tako, da preprečuje odlaganje stranskih produktov na drage stene komore in grelnike. Te dele je mogoče regenerirati z mokrim čiščenjem (kot so raztopine SPM+DHF) ali enostavno zamenjati, da se zagotovi visok izkoristek rezin.
● Ekstremna kemična odpornost: Kvarc VETEK je zasnovan tako, da prenese pogoste toplotne cikle in je odporen proti koroziji zaradi organskih kovin (kot je TMGa) in hidridov (kot je AsH₃).
● Natančna kontrola procesa: Naše kvarčne polkne ohranjajo visoko dimenzijsko stabilnost pri infrardečem segrevanju ali segrevanju z žarilno nitko. Njihova nizka toplotna vztrajnost omogoča hiter mehanski odziv, kar omogoča natančen nadzor rasti na "atomski ravni" in preprečuje navzkrižno kontaminacijo med preklapljanjem z več rezinami ali več procesi.
● Stroškovno učinkovita alternativa: Za projekte s strogimi proračunskimi zahtevami naši izdelki iz kremena zagotavljajo zanesljivo vstopno točko v primerjavi s prevlečenim grafitom, ki nudi bistveno zaščito in funkcionalnost za sisteme MOCVD.