Prstan s prevleko iz PG (pirolitičnega grafita).

Ključne značilnosti

• Izjemno visoka toplotna prevodnost – ravninska toplotna prevodnost za pirolitični grafit lahko doseže 1000–1800 W/m·K, kar pomeni, da se toplota hitro in enakomerno širi po obroču.

• Vrhunska stabilnost toplotnega polja – zasnova naravno zmanjšuje temperaturne gradiente in zavira lokalne vroče točke, tudi v zapletenih visokotemperaturnih sistemih.

• Odlična odpornost na toplotne udarce – z nizkim koeficientom toplotnega raztezanja obroč obdrži svojo obliko skozi ponavljajoče se cikle segrevanja in ohlajanja, ne da bi se zvijal.

• Zmogljivost pri visokih temperaturah – deluje zanesljivo v inertnih atmosferah pri temperaturah nad 2500 °C.

• Visoka čistost, nizka kontaminacija – Ogljikove plasti, pridobljene s CVD, so izjemno čiste, kovinske nečistoče in odpadanje delcev so minimalne.

• Dolga življenjska doba – Boljše upravljanje toplote upočasni obrabo materiala, tako da imate podaljšano življenjsko dobo vsakega dela.

• Prilagodljiva zasnova – ponujamo vrsto premerov, debelin in specifikacij za prevleke, ki se ujemajo z različnimi polprevodniškimi orodji in potrebami procesov.

Obroč s prevleko PG proti obroču s prevleko PyC

Izberite PG, če sta vaši glavni prioriteti toplotna prevodnost in enakomernost temperature.

Izberite PyC, ko vas bolj skrbi odpornost proti koroziji, minimalno nastajanje delcev in stroškovna učinkovitost.

Aplikacije

Ti obročki s PG prevleko se že uporabljajo v širokem spektru opreme, vključno z:

• PVT sistemi za rast kristalov SiC

• Polprevodniški sestavi termičnega polja

• Orodja za rast kristalov SiC

• Visokotemperaturne vakuumske peči

• Sistemi hitre toplotne obdelave (RTP).

• Peči za žarjenje

• Difuzijske peči

• Strukture za zaščito grelcev

• Toplotni ščiti

• Toplotnoizolacijski skladi

• In drugi ultravisokotemperaturni polprevodniški procesi

Zakaj delati z VETEK?

• Nismo posrednik – vse od strojne obdelave grafita do končnega premaza poteka v naših lastnih obratih.

• Naše interne zmogljivosti zajemajo čiščenje, CNC strojno obdelavo, nanašanje premazov in popoln pregled – vse pod eno streho.

• Imamo globoke korenine v materialih za polprevodnike in močnostno elektroniko, zato razumemo dejanske zahteve vaših procesov.

• Naš portfelj premazov vključuje SiC, TaC, PyC in zasnove termičnega polja po meri – nismo omejeni na eno tehnologijo.

• Potrebujete rešitev po meri? Samo delite svoje risbe ali model opreme in naša ekipa inženirjev bo neposredno sodelovala z vami.

• Ohranjamo stabilno dobavno verigo in pravočasno dostavo za stranke po vsem svetu.

• Bistvo: nudimo en sam, zanesljiv vir za polprevodniške komponente termičnega polja in napredne materiale na osnovi ogljika, od koncepta do proizvodnje.