Grafitni grelec iz silicijevega karbida keramičnega premaza

To polprevodnik Grafitni grelec iz silicijevega karbida keramičnega premazaZdružuje odlično električno in toplotno prevodnost grafita z visokotemperaturno odpornostjo, korozijsko odpornostjo in odpornostjo na silikonsko ogljikovo keramično prevleko ter je zasnovan za ostro polprevodniško proizvodno okolje. 

Grafitni grelec iz silicijevega karbida keramičnega premazase uporablja predvsem v opremi za vakuumsko prevleko (izhlapevanje), metode pa so običajno uporabljene metode PCD (plazemsko kemično sušenje) in PVD (fizično odlaganje hlapov). Ta izdelek je imel pomembno vlogo pri spodbujanju tehnološkega napredka in izboljšanju učinkovitosti proizvodnje v industriji polprevodnikov.Iskreno se veselimo nadaljnjega sodelovanja z vami.

Material in konstrukcijske značilnosti grelnika grafitnega prevleka iz silicijevega karbida so na naslednji način:

Grafitni substrat: Grafit je znan po visoki toplotni prevodnosti in nizkem koeficientu toplotne ekspanzije. Lahko se hitro odzove na temperaturne spremembe in ohrani strukturno stabilnost pri visokih temperaturah.

Keramični premaz iz silikonskega ogljika: SiC prevleka je enakomerno prevlečena na površini grafita z odlaganjem kemičnega pare ali drugih naprednih procesov. SIC ima izjemno visoko trdoto in kemično korozijsko odpornost, ki lahko zaščiti grafitni substrat pred visokotemperaturno oksidacijo in jedko okolje.

Strukturna zasnova posebnega izdelka silicijevega karbidskega keramičnega grelnika grafitne prevleke določaPrednosti nenadomestljivih izdelkov tega izdelka v procesu obdelave polprevodnikov:

Učinkovito in enotno ogrevanje:

Toplotna prevodnost: Visoka toplotna prevodnost grafita omogoča, da grelnik hitro doseže in vzdržuje potrebno temperaturo, SiC prevleka pa zagotavlja enakomerno porazdelitev toplote. To je še posebej pomembno za polprevodniške procese, ki zahtevajo natančen nadzor temperature, kot sta hitra toplotna obdelava (RTP) in kemična odlaganje hlapov (CVD).

Temperaturna enotnost: Z enakomerno porazdelitvijo toplote lahko silicijev karbidni keramični grelnik grafitnega nanosa učinkovito zmanjša toplotni stres in temperaturni gradient, kar zagotavlja konsistentnost in kakovostno stabilnost polprevodniških rezin v celotnem procesu ogrevanja.

Protikorozijska zaščita:

Kemična odpornost: Kemična korozijska odpornost sic premaza omogoča, da grelnik deluje stabilno in dolgo časa v jedko plin in kemični okolji, pri čemer se izogne ​​poškodbam grafitne podlage. Ta lastnost je še posebej kritična pri procesih, kot so kemično odlaganje hlapov (CVD) in v plazmi, ki je okrepljena s kemičnim nanašanjem hlapov (PECVD).

Oksidacijska odpornost: Pri visokih temperaturah lahko sic prevleka prepreči oksidacijo grafitne podlage, podaljša življenjsko dobo serviranja grelnika in zmanjša frekvenco in stroške vzdrževanja opreme.

Zmanjšajte kontaminacijo z delci:

Površinska stabilnost: SIC prevleka ni samo odporna na obrabo, ampak tudi preprečuje, da bi delci padli s površine materiala zaradi toplotnega kolesarjenja ali kemičnih reakcij, s čimer se zmanjša tveganje za onesnaženje delcev, ki se lahko pojavi med proizvodnjo polprevodnikov, in zagotavljanje okolja z visoko čiščenje procesnega procesa.

Izboljšati zanesljivost in učinkovitost procesa:

Dolgo življenje: Zaradi kombinacije mehanske jakosti grafita in obrabe siC silicijevega grelnika za keramično prevleko silicijevega karbida lahko dolgo časa ohrani visoko učinkovito delovanje v težkih postopkih, kar bistveno izboljša splošno zanesljivost opreme.

Učinkovita poraba energije: Visoka toplotna prevodnost grafita in visokotemperaturna stabilnost sic prevleke omogočata grelniku za zmanjšanje porabe energije, hkrati pa izboljšuje natančnost temperature in s tem izboljša skupno učinkovitost proizvodnje polprevodnikov.

Osnovne fizikalne lastnostiGrafitni grelec iz silicijevega karbida keramičnega premaza:

To polprevodnikGrafitni grelec iz silicijevega karbida keramičnega premazaTrgovine:

Pregled industrijske verige polprevodniških čipov Epitaxy:

/Drugi proces