Keramični premaz iz silicijevega karbida

To polprevodnik Keramični premaz iz silicijevega karbidaje visokozmogljiva zaščitna prevleka, narejena iz izjemno trdega in odpornega silicijevega karbida (sic), ki zagotavlja odlično kemično korozijsko odpornost in visoko temperaturno stabilnost. Te lastnosti so ključne pri proizvodnji polprevodnikov, zato se silicijev karbidni keramični premaz pogosto uporablja na ključnih sestavnih delih opreme za polprevodniško proizvodnjo.

Specifična vloga, ki jo ima keramični premaz Vetek polprevodnika silicijevega karbida v proizvodnji polprevodnikakot sledi:

Izboljšati trajnost opreme: Keramični premaz iz silicijevega karbida zagotavlja odlično površinsko zaščito za opremo za proizvodnjo polprevodnikov z izjemno visoko trdoto in odpornostjo na obrabo. Zlasti v visokotemperaturnih, visoko korozivnih procesnih okoljih, kot sta kemično odlaganje hlapov (CVD) in jedkanica v plazmi, keramični premaz silicijevega karbida lahko učinkovito prepreči poškodbe površine opreme zaradi kemične erozije ali fizične obrabe, s čimer se znatno podaljša življenjska doba opreme in zmanjšanje izpadov, ki jih povzročajo pogosti nadomestitvi in ​​vzdrževanje.

Izboljšati čistost procesa: V procesu izdelave polprevodnikov lahko vsaka drobna kontaminacija povzroči napake izdelka. Kemična inertnost keramičnega premaza iz silicijevega karbida omogoča, da ostane stabilen v ekstremnih pogojih, preprečuje, da bi material sprostil delce ali nečistoče in zagotovil čistost okolja med postopkom. To je še posebej pomembno za izdelave korakov, ki zahtevajo visoko natančnost in visoko čistočo, kot sta PECVD in ionska implantacija.

Optimizirajte toplotno upravljanje: Pri visokotemperaturni polprevodniški obdelavi, kot so hitra toplotna obdelava (RTP) in oksidacijski procesi, visoka toplotna prevodnost keramičnega premaza iz silicijevega karbida omogoča enakomerno porazdelitev temperature znotraj opreme. To pomaga zmanjšati toplotni stres in deformacijo materiala, ki jih povzročajo temperaturna nihanja, s čimer se izboljša natančnost in doslednost proizvodnje izdelkov.

Podporno kompleksno procesno okolje: V procesih, ki zahtevajo kompleksno nadzor atmosfere, kot so ICP jedkanica in procesi jedkanja PSS, stabilnost in oksidacijska odpornost grelnika za keramično prevleko iz silicijevega karbida zagotavljata stabilno delovanje opreme pri dolgoročnem delovanju, kar zmanjšuje tveganje za razgradnjo materiala ali poškodbe opreme zaradi sprememb v okolju.

To polprevodnikse osredotoča na proizvodnjo in oskrbo z visoko zmogljivostjoKeramični premaz iz silicijevega karbida, in se zavezuje k zagotavljanju napredne tehnologije in rešitev izdelkov za industrijo polprevodnikov.Iskreno upamo, da bomo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Osnovne fizikalne lastnostiKeramični premaz iz silicijevega karbida:

Trgovine s keramičnimi prevleki iz silicijevega karbida Vetek Semicon karbid:

Pregled industrijske verige polprevodniških čipov Epitaxy: