Silicon karbide rezine Chuck

Vetek polprevodniški silikonski karbidni rezini Chuck uporablja odlične lastnosti materialov iz silicijevega karbida za izpolnjevanje strogih zahtev proizvodnje polprevodnikov, zlasti pri predelavi polprevodnikov, ki zahteva izjemno visoko natančnost in zanesljivost.

V procesu obdelave polprevodnikovSilicijev karbidima odlično visoko temperaturno odpornost (lahko deluje stabilno pri do 1400 ° C), nizka prevodnost (SIC ima relativno nizko prevodnost, običajno 10^^-3S/m) in nizki koeficient toplotne ekspanzije (približno 4,0 × 10^^-6/° C), ki je nepogrešljiv in pomemben material, še posebej primeren za proizvodnjo silicijevega karbidnega rezin.

MedEpitaksialni proces rasti, tanka plast polprevodniškega materiala se odloži na substrat, ki zahteva absolutno stabilnost od rezin, da se zagotovi enotne in kakovostne plasti nanašanja filma. Sic Vacuum Chuck to doseže tako, da ustvari trdno, dosledno vakuumsko držanje, da prepreči kakršno koli gibanje ali deformacijo rezin.

Silicijev karbidni rezini Chuck ponuja tudi odlično odpornost proti toplotnemu šoku. Hitre temperaturne spremembe so pogoste pri proizvodnji polprevodnikov, materiali, ki ne morejo zdržati teh nihanj, pa lahko razpokajo, upogibajo ali ne bodo uspeli. Silicijev karbid ima nizek koeficient toplotne ekspanzije in lahko ohrani obliko in deluje tudi pri drastičnih temperaturnih spremembah, kar zagotavlja, da rezina ostane varna med postopkom epitaksija brez gibanja ali neskladja.

Poleg tegapostopek epitaksiPogosto vključuje reaktivne pline in druge korozivne kemikalije. Kemična inerstnost sic rezin Chuck zagotavlja, da na to ne vplivajo ta ostra okolja, ohranjajo njegovo delovanje in podaljšajo življenjsko dobo. Ta kemična vzdržljivost ne samo zmanjšuje pogostost zamenjave rezin, ampak zagotavlja tudi dosledno učinkovitost izdelka v več proizvodnih ciklih, kar pomaga izboljšati splošno učinkovitost in stroškovno učinkovitost proizvodnje polprevodnikov.

Vetek Semiconductor je vodilni proizvajalec in dobavitelj izdelkov Silicon Carbide Wafer Chuck na Kitajskem. Lahko zagotovimo različne vrste izdelkov Chuck, kot jePorozni sic keramični chuck, Porozni sic vakuumski chuck, Porozni keramični vakuumski chuckinTac prevlečen Chuck, itd. Vetek Semiconductor se zavezuje k zagotavljanju napredne tehnologije in rešitev izdelkov za industrijo polprevodnikov. Iskreno upamo, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

SEM podatki CVDKristalna struktura filma sic：

Vetek polprevodniški silicijev karbidni rezini Trgovine：