Grelec za keramično prevleko iz silicijevega karbida

To polprevodnikSilicijev karbidni grelec za keramično prevleko je grelnik, zasnovan za visoko temperaturo in ostro okolje. Na površini grelnega elementa prevzame plast silikonske ogljikove keramične prevleke (sic), da bi opremi omogočili odlično toplotno odpornost, korozijsko odpornost in toplotno prevodnost. 

Grelec za keramično prevleko iz silicijevega karbidase uporablja predvsem v opremi za vakuumsko prevleko (izhlapevanje). Pogosto uporabljene metode sta PCD (plazemsko kemično sušenje) in PVD (fizično odlaganje hlapov), ki se pogosto uporabljata pri proizvodnji polprevodnikov in drugih industrijskih aplikacijah z velikim povpraševanjem.

V kombinaciji z visokozmogljivo zasnovo grelnika za keramično prevleko iz silicijevega karbida,lahko nudi odlično ogrevalno rešitev za visokotemperaturne procese.

Odlična toplotna prevodnost: SIC material ima odlično toplotno prevodnost, kar zagotavlja, da lahko grelec doseže enakomerno porazdelitev toplote na delovnem območju in zmanjša temperaturne gradiente.

Zagotovite enakomerno porazdelitev toplote: Silicijev karbidni grelec za keramično prevleko uporablja visoko toplotno prevodnost materiala SIC za doseganje enakomerne porazdelitve temperature po celotnem ogrevalnem območju. To je ključnega pomena za zagotovitev enakomerne toplotne obdelave polprevodniških rezin v različnih visokotemperaturnih procesih, kot so hitra toplotna obdelava (RTP), difuzija in oksidacija, pri čemer se izognemo pomanjkljivostim izdelkov, ki jih povzroča lokalno pregrevanje ali neenakomerna temperatura.

Visoka temperaturna toleranca: SIC prevleka omogoča, da grelnik prenese izjemno visoke temperature, običajno do 1600 ° C, primerne za različne visokotemperaturne procese obdelave.

Izboljšati toplotno odpornost: Ker prevleka lahko prenese izjemno visoke temperature, deluje dobro v procesih, ki zahtevajo dolgoročno visokotemperaturno delovanje. Na primer, v procesih kemičnega odlaganja hlapov (CVD) lahko grelec za keramično prevleko iz silicijevega karbida zagotovi dolgoročno stabilno delovanje opreme pri visokih temperaturah in ohrani konstantne zmogljivosti ogrevanja, s čimer se izboljša ponovljivost procesa in zanesljivost.

Kemična korozijska odpornost: SiC prevleka ima izjemno veliko odpornost na kisline, alkalijske in korozivne pline in lahko dlje časa ostane stabilen v zapletenem kemičnem okolju, ki podaljša življenjsko dobo opreme. 

Podaljšanje življenjske dobe opreme: SiC prevleka ima odlično oksidacijsko odpornost in korozijsko odpornost ter se lahko učinkovito upira kemični eroziji in oksidaciji pri visokih temperaturah. To je zelo kritično v procesu izdelave polprevodnikov, zlasti v okolju, ki obravnava korozivne pline in kemikalije. Zaščitni učinek prevleke lahko znatno podaljša življenjsko dobo grelnika in zmanjša pogostost stroškov zamenjave in vzdrževanja opreme.

Osnovne fizikalne lastnosti grelnika za keramično prevleko iz silicijevega karbida:

Vetek polprevodniški silicijev karbid keramični grelec za keramične prevleke:

Pregled industrijske verige Epitaxy Vetek polprevodniški čip: