Tac prevlečen z grafitnim vodnikom

Grafitni obroč, prevlečen s TAC (Tantalum karbid), je kritična komponenta, ki se uporablja pri proizvodnji polprevodnikov, zlasti v procesih, kot sta epitaksialno odlaganje in plazemsko jedkanje. Ti obroči so zasnovani tako, da varno držijo in postavijo silicijeve rezine, kar zagotavlja natančno poravnavo in stabilnost v visokotemperaturnih in ostrih kemičnih okoljih. Naši vodniki so zasnovani tako, da izpolnjujejo stroge zahteve sodobne izdelave polprevodnikov, kar pomaga izboljšati donosnost procesov in kakovost rezin.

Sestava materiala in fizikalne lastnosti

Jedro našega Grafitskega obroča, prevlečenega s TAC, je grafitni obroč z visoko čistočo, ki je nato prevlečen s plastjo Tantalum karbida (TAC).

Grafitni substrat:

Grafit ponuja več ključnih prednosti. Ima odlično toplotno stabilnost, ki se upira deformaciji pri visokih temperaturah, ki so pogoste pri predelavi polprevodnikov. Njegova lahka narava zmanjšuje toplotno maso, kar omogoča hitrega ogrevanja in hlajenja. Tudi grafit z visoko čistostjo preprečuje kontaminacijo procesne komore.

CVD TAC prevleka:

Tantalum karbidni premaz je ključ do vrhunske zmogljivosti obroča. TAC je izjemno trd keramični material, ki ponuja izjemno odpornost na obrabo in kemično inertnost. Zaščiti osnovni grafit pred agresivno plazmo in korozivnimi plini, kar bistveno podaljša življenjsko dobo obroča. Ta prevleka tudi preprečuje, da bi delci odlegali, kar je ključnega pomena za vzdrževanje čistega procesnega okolja in preprečevanje napak na površini rezin.

Vloga vodilnih obročev pri obdelavi rezin

Naš vodilni obroč s TAC ima ključno vlogo pri zagotavljanju kakovosti in učinkovitosti izdelave polprevodnikov.

● poravnava in stabilnost rezin: Med epitaksialno rastjo ali jedšenjem vodilni obroč drži rezino v natančnem položaju. To preprečuje premikanje rezin, ki je bistvenega pomena za enakomerno odlaganje plasti in natančen prenos vzorca po celotni površini rezin.

● Termično upravljanje: Toplotne lastnosti prevleke za grafit in karbid Tantalum omogočajo učinkovito porazdelitev in upravljanje toplote. To je ključnega pomena za vzdrževanje enakomernega temperaturnega profila po rezini, ki je potreben za dosledno debelino filma in lastnosti materiala.

● Nadzor kontaminacije: Materiali z visoko čistostjo in trajno TAC prevleka zmanjšujejo nastajanje in izkazovanje delcev. To zmanjšuje tveganje za kontaminacijo in okvare rezin, kar vodi do večjega donosa in zanesljivosti naprav.

● Podaljšana življenjska doba komponent: Robustna karbidna prevleka Tantalum zagotavlja odlično odpornost na plazemsko erozijo in kemični napad. To podaljša operativno življenjsko dobo vodilnega obroča, kar zmanjšuje izpadanje vzdrževanja in znižuje skupne stroške lastništva.