Podpora za prevleko za karbide Tantalum

Glavna funkcija Vetek SemiconductorPrevleka Tantalum karbide (TAC)Podpora je izboljšanjetoplotna odpornost, odpornost na obrabo in korozijska odpornostsubstrata tako, da premažemo plast tantalum karbidne prevleke, da bi izboljšali natančnost in zanesljivost postopka ter podaljšali življenjsko dobo storitve komponent. Gre za visokozmogljiv izdelek za prevleko, ki se uporablja na področju predelave polprevodnikov.

Vetek Semiconductor's Tantalum Carbide Suppor ima trdoto MOHS skoraj 9 ~ 10, na drugem mestu za diamant. Ima izjemno močno odpornost na obrabo in se lahko med obdelavo učinkovito upira površinski obrabi in udarcu, s čimer učinkovito podaljša življenjsko dobo sestavnih delov opreme. V kombinaciji z visoko tališčem približno 3880 ° C se pogosto uporablja za prevleko ključnih sestavnih delov polprevodniške opreme, kot so površinski prevleki podporne konstrukcije, toplotne opreme, komore ali tesnil v polprevodniški opremi za izboljšanje njegove obrabe in visoke temperaturne odpornosti.

Zaradi izjemno visoke talilne točke Tantalum karbida približno 3880 ° C, v procesih polprevodniške obdelave, kot soOdlaganje kemičnih hlapov (CVD)inFizično odlaganje hlapov (PVD), TAC prevleka z močno visoko temperaturno odpornostjo in kemično korozijsko odpornostjo lahko učinkovito zaščiti komponente opreme in prepreči korozijo ali poškodbo substrata v ekstremnih okoljih, kar zagotavlja učinkovito zaščito za visoko temperaturno okolje v proizvodnji rezin. Ta funkcija določa tudi, da se v jedšev in jedkovih procesih pogosto uporablja podpora za prevleko s karbidnim premazom v Tantalum Vetek Semiconductor.

Podpora za prevleko s karbidom Tantalum ima tudi funkcijo zmanjšanja kontaminacije z delci. Med predelavo rezin površinska obraba običajno povzroči kontaminacijo z delci, kar vpliva na kakovost izdelka rezin. Ekstremne značilnosti izdelka TAC Coatinga skoraj 9-10 MOHS trdote lahko učinkovito zmanjšajo to obrabo in s tem zmanjšajo nastajanje delcev. V kombinaciji z odlično toplotno prevodnostjo TAC (približno 21 w/m · k) lahko ohrani dobro toplotno prevodnost v visokih temperaturnih pogojih, s čimer se močno izboljša donos in doslednost proizvodnje rezin.

Glavni izdelki za prevleko TAC Semiconductor Vetek SemiconductorGrelnik za prevleko TAC, CVD TAC prevleka za prevleko, TAC prevleka za vrtenjeinTac prevleka rezervni del, itd., in podpirajo prilagojene storitve izdelkov. Vetek Semiconductor se zavezuje k zagotavljanju odličnih izdelkov in tehničnih rešitev za industrijo polprevodnikov. Iskreno upamo, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Prevleka Tantalum karbida (TAC) na mikroskopskem prerezu:

Osnovne fizikalne lastnosti CVD TAC prevleke：