Prevleka iz tantalovega karbida

VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec materialov za prevleko iz tantalovega karbida za industrijo polprevodnikov. Naša glavna ponudba izdelkov vključuje dele s prevleko iz tantalovega karbida CVD, dele s sintrano prevleko TaC za rast kristalov SiC ali postopek epitaksije polprevodnikov. VeTek Semiconductor, ki je opravil ISO9001, ima dober nadzor nad kakovostjo. VeTek Semiconductor je namenjen postati inovator v industriji prevlek iz tantalovega karbida s stalnimi raziskavami in razvojem ponavljajočih se tehnologij.

Glavni proizvodi soVodilni obroč s prevleko iz TaC, Vodilni obroč s tremi lističi, prevlečen s CVD TaC, Polmesec s prevleko iz tantalovega karbida TaC, Planetarni SiC epitaksialni suceptor s prevleko CVD TaC, Obroč s prevleko iz tantalovega karbida, Porozni grafit, prevlečen s tantalovim karbidom, TaC Coating Rotation Susceptor, Prstan iz tantalovega karbida, Rotacijska plošča s premazom TaC, TaC prevlečen suceptor za rezine, Deflektorski obroč s prevleko iz TaC, CVD TaC prevleka, TaC prevlečena vpenjalna glavaitd., čistost je pod 5 ppm, lahko izpolnjuje zahteve kupcev.

TaC prevlečni grafit je ustvarjen s prevleko površine grafitnega substrata visoke čistosti s fino plastjo tantalovega karbida z lastniškim postopkom kemičnega naparjevanja (CVD). Prednost je prikazana na spodnji sliki: