Izdelki

Prevleka iz tantalovega karbida

VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec materialov za prevleko iz tantalovega karbida za industrijo polprevodnikov. Naša glavna ponudba izdelkov vključuje dele s prevleko iz tantalovega karbida CVD, dele s sintrano prevleko TaC za rast kristalov SiC ali postopek epitaksije polprevodnikov. VeTek Semiconductor, ki je opravil ISO9001, ima dober nadzor nad kakovostjo. VeTek Semiconductor je namenjen postati inovator v industriji prevlek iz tantalovega karbida s stalnimi raziskavami in razvojem ponavljajočih se tehnologij.


Glavni proizvodi soVodilni obroč s prevleko iz TaC, Vodilni obroč s tremi lističi, prevlečen s CVD TaC, Polmesec s prevleko iz tantalovega karbida TaC, Planetarni SiC epitaksialni suceptor s prevleko CVD TaC, Obroč s prevleko iz tantalovega karbida, Porozni grafit, prevlečen s tantalovim karbidom, TaC Coating Rotation Susceptor, Prstan iz tantalovega karbida, Rotacijska plošča s premazom TaC, TaC prevlečen suceptor za rezine, Deflektorski obroč s prevleko iz TaC, CVD TaC prevleka, TaC prevlečena vpenjalna glavaitd., čistost je pod 5 ppm, lahko izpolnjuje zahteve kupcev.


TaC prevlečni grafit je ustvarjen s prevleko površine grafitnega substrata visoke čistosti s fino plastjo tantalovega karbida z lastniškim postopkom kemičnega naparjevanja (CVD). Prednost je prikazana na spodnji sliki:


Excellent properties of TaC coating graphite


Prevleka iz tantalovega karbida (TaC) je pritegnila pozornost zaradi visokega tališča do 3880 °C, odlične mehanske trdnosti, trdote in odpornosti na toplotne šoke, zaradi česar je privlačna alternativa za sestavljene postopke epitaksije polprevodnikov z višjimi temperaturnimi zahtevami, kot sta sistem Aixtron MOCVD in postopek epitaksije SiC LPE. Ima tudi široko uporabo v procesu rasti kristalov SiC metode PVT.


Ključne značilnosti:

 ●Temperaturna stabilnost

 ●Ultra visoka čistost

 ●Odpornost na H2, NH3, SiH4,Si

 ●Odpornost na toplotno zalogo

 ●Močan oprijem na grafit

 ●Konformna prevleka

 Velikost do premera 750 mm (Edini proizvajalec na Kitajskem dosega to velikost)


Aplikacije:

 ●Nosilec rezin

 ● Induktivni grelni sprejemnik

 ● Uporovni grelni element

 ●Satelitski disk

 ●Tuš glava

 ●Vodilni obroč

 ●LED Epi sprejemnik

 ●Šoba za vbrizgavanje

 ●Maskirni prstan

 ● Toplotni ščit


Prevleka tantalovega karbida (TaC) na mikroskopskem prerezu:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter prevleke iz tantalovega karbida VeTek Semiconductor:

Fizikalne lastnosti TaC prevleke
Gostota 14,3 (g/cm³)
Specifična emisijska sposobnost 0.3
Koeficient toplotnega raztezanja 6,3 10-6/K
Trdota (HK) 2000 HK
Odpornost 1×10-5Ohm*cm
Toplotna stabilnost <2500 ℃
Spremembe velikosti grafita -10~-20um
Debelina nanosa Tipična vrednost ≥20um (35um±10um)


Podatki EDX o prevleki TaC

EDX data of TaC coating


Podatki o kristalni strukturi prevleke TaC:

Element Atomski odstotek
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Povprečje
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
CVD TAC obroč

CVD TAC obroč

V polprevodniški industriji je CVD TAC prevlečen obroč zelo ugodna komponenta, zasnovana za izpolnjevanje zahtevnih zahtev procesov rasti silicijevega karbida (SIC). Obroč za prevleko CVD TAC za CVD Vetek Semiconductor zagotavlja izjemno visokotemperaturno odpornost in kemično inertnost, zaradi česar je idealna izbira za okolja, za katere so značilne povišane temperature in korozivna stanja. Zavezani smo k ustvarjanju učinkovite proizvodnje enojnih kristalnih dodatkov iz silicijevega karbida. PLS nas za več vprašanj kontaktirajte.
LPE Sic Epi Halfmoon

LPE Sic Epi Halfmoon

LPE SiC Epi Halfmoon je posebna zasnova za horizontalno epitaksijsko peč, revolucionaren izdelek, zasnovan za izboljšanje postopkov SiC epitaksije v LPE reaktorju. Ta vrhunska rešitev se ponaša z več ključnimi lastnostmi, ki zagotavljajo vrhunsko zmogljivost in učinkovitost v celotnem proizvodnem procesu. Vetek Semiconductor je profesionalen pri izdelavi LPE SiC Epi halfmoon v velikosti 6 in 8 palcev. Veselimo se vzpostavitve dolgoročnega sodelovanja z vami.
LED EPI

LED EPI

Vetek Semiconductor je vodilni dobavitelj TAC prevlek in grafitnih delov sic prevleke. Specializirani smo za proizvodnjo vrhunskih LED EPI obspevcev, ki so bistveni za procese Epitaxy LED. Veselimo se vašega nadaljnjega posvetovanja.
Občutek MOCVD s TAC prevleko

Občutek MOCVD s TAC prevleko

Vetek Semiconductor je obsežen dobavitelj, ki je vključen v raziskave, razvoj, proizvodnjo, oblikovanje in prodajo premazov TAC in delov sic. Naše strokovno znanje je v proizvodnji najsodobnejšega obspevnika MOCVD s TAC prevleko, ki igra ključno vlogo v procesu LED epitaksije. Pozdravljamo vas, da se pogovorite z nami poizvedbi in dodatnimi informacijami.
Tac prevlečen globok UV LED obljub

Tac prevlečen globok UV LED obljub

TAC prevleka je novo generacijska prevleka za razvijanje za Harsh Environment.Vetek Semiconductor je integrirani dobavitelj, ki se ukvarja z raziskavami in razvojem, proizvodnjo, oblikovanjem in prodajo premazov TAC. Specializirani smo za izdelavo UV-LED obstreznikov, prevlečenih z robom, ki so ključni sestavni deli v procesu Epitaxy LED. Naš Tac prevlečen z globokim UV LED obspevcem ponuja visoko toplotno prevodnost, visoko mehansko trdnost, izboljšano učinkovitost proizvodnje in epitaksialno zaščito rezin. Dobrodošli, da nas poizvedujejo.
Tantalum karbid tac obložen pol mine

Tantalum karbid tac obložen pol mine

Polmovni deli, prevlečeni s CVD TAC prevleko, so trpežnejši od polovičnih delcev, prevlečenih s SiC.Vetek Semiconductor je vodilni proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem za polmani Tantalum Carbide TAC, specializirani za raziskave in razvoj in proizvodnjo, lahko nadzirajo kakovost in ponujajo tekmovalno vrtino in ponujajo tekmovalno vrtino in ponujajo tekmovalni. cena. Vabljeni, da obiščete našo tovarno za nadaljnjo razpravo o dolgoročnem sodelovanju.
Kot profesionalec Prevleka iz tantalovega karbida proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo svojo tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve, da zadovoljijo posebne potrebe vaše regije ali želite kupiti napredne in trajne Prevleka iz tantalovega karbida, narejene na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept