koda QR

Izdelki
Kontaktiraj nas
Telefon
faks
+86-579-87223657
E-naslov
Naslov
Wangda Road, Ulica Ziyang, okrožje Wuyi, mesto Jinhua, provinca Zhejiang, Kitajska
VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec materialov za prevleko iz tantalovega karbida za industrijo polprevodnikov. Naša glavna ponudba izdelkov vključuje dele s prevleko iz tantalovega karbida CVD, dele s sintrano prevleko TaC za rast kristalov SiC ali postopek epitaksije polprevodnikov. VeTek Semiconductor, ki je opravil ISO9001, ima dober nadzor nad kakovostjo. VeTek Semiconductor je namenjen postati inovator v industriji prevlek iz tantalovega karbida s stalnimi raziskavami in razvojem ponavljajočih se tehnologij.
Glavni proizvodi soVodilni obroč s prevleko iz TaC, Vodilni obroč s tremi lističi, prevlečen s CVD TaC, Polmesec s prevleko iz tantalovega karbida TaC, Planetarni SiC epitaksialni suceptor s prevleko CVD TaC, Obroč s prevleko iz tantalovega karbida, Porozni grafit, prevlečen s tantalovim karbidom, TaC Coating Rotation Susceptor, Prstan iz tantalovega karbida, Rotacijska plošča s premazom TaC, TaC prevlečen suceptor za rezine, Deflektorski obroč s prevleko iz TaC, CVD TaC prevleka, TaC prevlečena vpenjalna glavaitd., čistost je pod 5 ppm, lahko izpolnjuje zahteve kupcev.
TaC prevlečni grafit je ustvarjen s prevleko površine grafitnega substrata visoke čistosti s fino plastjo tantalovega karbida z lastniškim postopkom kemičnega naparjevanja (CVD). Prednost je prikazana na spodnji sliki:
Prevleka iz tantalovega karbida (TaC) je pritegnila pozornost zaradi visokega tališča do 3880 °C, odlične mehanske trdnosti, trdote in odpornosti na toplotne šoke, zaradi česar je privlačna alternativa za sestavljene postopke epitaksije polprevodnikov z višjimi temperaturnimi zahtevami, kot sta sistem Aixtron MOCVD in postopek epitaksije SiC LPE. Ima tudi široko uporabo v procesu rasti kristalov SiC metode PVT.
●Temperaturna stabilnost
●Ultra visoka čistost
●Odpornost na H2, NH3, SiH4,Si
●Odpornost na toplotno zalogo
●Močan oprijem na grafit
●Konformna prevleka
● Velikost do premera 750 mm (Edini proizvajalec na Kitajskem dosega to velikost)
● Induktivni grelni sprejemnik
● Uporovni grelni element
● Toplotni ščit
Fizikalne lastnosti TaC prevleke | |
Gostota | 14,3 (g/cm³) |
Specifična emisijska sposobnost | 0.3 |
Koeficient toplotnega raztezanja | 6,3 10-6/K |
Trdota (HK) | 2000 HK |
Odpornost | 1×10-5Ohm*cm |
Toplotna stabilnost | <2500 ℃ |
Spremembe velikosti grafita | -10~-20um |
Debelina nanosa | Tipična vrednost ≥20um (35um±10um) |
Element | Atomski odstotek | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Povprečje | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
+86-579-87223657
Wangda Road, Ulica Ziyang, okrožje Wuyi, mesto Jinhua, provinca Zhejiang, Kitajska
Copyright © 2024 Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd. Vse pravice pridržane.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |