Izdelki

Prevleka iz tantalovega karbida

VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec materialov za prevleko iz tantalovega karbida za industrijo polprevodnikov. Naša glavna ponudba izdelkov vključuje dele s prevleko iz tantalovega karbida CVD, dele s sintrano prevleko TaC za rast kristalov SiC ali postopek epitaksije polprevodnikov. VeTek Semiconductor, ki je opravil ISO9001, ima dober nadzor nad kakovostjo. VeTek Semiconductor je namenjen postati inovator v industriji prevlek iz tantalovega karbida s stalnimi raziskavami in razvojem ponavljajočih se tehnologij.


Glavni proizvodi soVodilni obroč s prevleko iz TaC, Vodilni obroč s tremi lističi, prevlečen s CVD TaC, Polmesec s prevleko iz tantalovega karbida TaC, Planetarni SiC epitaksialni suceptor s prevleko CVD TaC, Obroč s prevleko iz tantalovega karbida, Porozni grafit, prevlečen s tantalovim karbidom, TaC Coating Rotation Susceptor, Prstan iz tantalovega karbida, Rotacijska plošča s premazom TaC, TaC prevlečen suceptor za rezine, Deflektorski obroč s prevleko iz TaC, CVD TaC prevleka, TaC prevlečena vpenjalna glavaitd., čistost je pod 5 ppm, lahko izpolnjuje zahteve kupcev.


TaC prevlečni grafit je ustvarjen s prevleko površine grafitnega substrata visoke čistosti s fino plastjo tantalovega karbida z lastniškim postopkom kemičnega naparjevanja (CVD). Prednost je prikazana na spodnji sliki:


Excellent properties of TaC coating graphite


Prevleka iz tantalovega karbida (TaC) je pritegnila pozornost zaradi visokega tališča do 3880 °C, odlične mehanske trdnosti, trdote in odpornosti na toplotne šoke, zaradi česar je privlačna alternativa za sestavljene postopke epitaksije polprevodnikov z višjimi temperaturnimi zahtevami, kot sta sistem Aixtron MOCVD in postopek epitaksije SiC LPE. Ima tudi široko uporabo v procesu rasti kristalov SiC metode PVT.


Ključne značilnosti:

 ●Temperaturna stabilnost

 ●Ultra visoka čistost

 ●Odpornost na H2, NH3, SiH4,Si

 ●Odpornost na toplotno zalogo

 ●Močan oprijem na grafit

 ●Konformna prevleka

 Velikost do premera 750 mm (Edini proizvajalec na Kitajskem dosega to velikost)


Aplikacije:

 ●Nosilec rezin

 ● Induktivni grelni sprejemnik

 ● Uporovni grelni element

 ●Satelitski disk

 ●Tuš glava

 ●Vodilni obroč

 ●LED Epi sprejemnik

 ●Šoba za vbrizgavanje

 ●Maskirni prstan

 ● Toplotni ščit


Prevleka tantalovega karbida (TaC) na mikroskopskem prerezu:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter prevleke iz tantalovega karbida VeTek Semiconductor:

Fizikalne lastnosti TaC prevleke
Gostota 14,3 (g/cm³)
Specifična emisijska sposobnost 0.3
Koeficient toplotnega raztezanja 6,3 10-6/K
Trdota (HK) 2000 HK
Odpornost 1×10-5Ohm*cm
Toplotna stabilnost <2500 ℃
Spremembe velikosti grafita -10~-20um
Debelina nanosa Tipična vrednost ≥20um (35um±10um)


Podatki EDX o prevleki TaC

EDX data of TaC coating


Podatki o kristalni strukturi prevleke TaC:

Element Atomski odstotek
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Povprečje
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Cev, prevlečena s karbidom Tantalum za rast kristalov

Cev, prevlečena s karbidom Tantalum za rast kristalov

Cev, prevlečena s karbidom Tantalum za rast kristalov, se uporablja predvsem v procesu rasti SIC kristala. Vetek Semiconductor že vrsto let oskrbuje cev, prevlečeno s karbidom v Tantalum, že vrsto let in že vrsto let dela na področju TAC prevleke. Naši izdelki imajo visoko čistost in visoko temperaturno odpornost. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem. Vas prosimo, da nas pozabite.
TAC prevlečen obroč za Epitaxalialni reaktor sic

TAC prevlečen obroč za Epitaxalialni reaktor sic

Vetek Semiconductor je vodilni proizvajalec in tehnološki inovator obroča TAC za Epitaxial Reactor na Kitajskem, ki se osredotoča na zagotavljanje visokozmogljivih rešitev za Epitaxaial Reactors. Imamo dolgoletne izkušnje s tehnologijo prevleke TAC. Tac prevlečen obroč ima značilnosti visoke čistosti, visoke stabilnosti, odlične korozijske odpornosti itd. In lahko zagotavlja dolgoročno stabilno delovanje v ostrim delovnim okoljem epitaksialnih reaktorjev. Veselimo se, da bomo z vami vzpostavili dolgoročno strateško partnerstvo.
Polmesečni del s prevleko iz tantalovega karbida za LPE

Polmesečni del s prevleko iz tantalovega karbida za LPE

VeTek Semiconductor je vodilni dobavitelj polmesečnih delov, prevlečenih s tantalovim karbidom, za LPE na Kitajskem, ki se že vrsto let osredotoča na tehnologijo prevlek TaC. Naš polmesečni del s prevleko iz tantalovega karbida za LPE je zasnovan za postopek epitaksije v tekoči fazi in lahko prenese visoko temperaturo nad 2000 stopinj Celzija. Z odlično zmogljivostjo materialov in inovacijami procesov je življenjska doba naših izdelkov na vodilni ravni v industriji. VeTek Semiconductor se veseli, da bo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Guided Guided Ring Tac

Guided Guided Ring Tac

Guided Guided obroč Tac je izdelan iz visokokakovostnega grafita in TAC prevleke. Pri pripravi kristalov SIC po Pvt metodi se vodilni obroč z prevleko TAC Vetek Semiconductor uporablja predvsem za vodenje in nadzor pretoka zraka, optimizacijo procesa rasti posameznih kristalov in izboljšanje enega kristalnega donosa. Z odlično tehnologijo prevleke TAC imajo naši izdelki odlično visoko temperaturno odpornost, korozijsko odpornost in dobre mehanske lastnosti.
Planetarni rotacijski disk, prevlečen s tantalovim karbidom

Planetarni rotacijski disk, prevlečen s tantalovim karbidom

Vetek Semiconductor je vodilni proizvajalec in dobavitelj planetarnega rotacijskega diska, prevlečenega s karbidom Tantalum, na Kitajskem, ki se že vrsto let osredotoča na tehnologijo prevleke TAC. Naši izdelki imajo visoko čistost in odlično visoko temperaturno odpornost, ki jo proizvajalci polprevodnikov široko prepoznajo. Vetek Semiconductor Tantalum karbid, prevlečen s planetarnim vrtenjem, je postal hrbtenica industrije rezin Epitaxy. Veselimo se, da bomo z vami vzpostavili dolgoročno partnerstvo za skupno spodbujanje tehnološkega napredka in optimizacije proizvodnje.
TaC prevlečen grafitni nosilec za rezine

TaC prevlečen grafitni nosilec za rezine

VeTek Semiconductor je skrbno zasnoval TaC Coated Graphite Wafer Carrier za stranke. Sestavljen je iz grafita visoke čistosti in prevleke TaC, ki je primerna za različne epitaksialne obdelave rezin. Že vrsto let smo specializirani za prevleke SiC in TaC. V primerjavi s prevleko iz SiC ima naš nosilec za grafitne rezine, prevlečen s TaC, višjo temperaturno odpornost in odpornost proti obrabi. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Kot profesionalec Prevleka iz tantalovega karbida proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo svojo tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve, da zadovoljijo posebne potrebe vaše regije ali želite kupiti napredne in trajne Prevleka iz tantalovega karbida, narejene na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept