Spletni meni

Iskanje izdelkov

Jezik

Izdelki

Prevleka iz tantalovega karbida

VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec materialov za prevleko iz tantalovega karbida za industrijo polprevodnikov. Naša glavna ponudba izdelkov vključuje dele s prevleko iz tantalovega karbida CVD, dele s sintrano prevleko TaC za rast kristalov SiC ali postopek epitaksije polprevodnikov. VeTek Semiconductor, ki je opravil ISO9001, ima dober nadzor nad kakovostjo. VeTek Semiconductor je namenjen postati inovator v industriji prevlek iz tantalovega karbida s stalnimi raziskavami in razvojem ponavljajočih se tehnologij.


Glavni proizvodi soVodilni obroč s prevleko iz TaC, Vodilni obroč s tremi lističi, prevlečen s CVD TaC, Polmesec s prevleko iz tantalovega karbida TaC, Planetarni SiC epitaksialni suceptor s prevleko CVD TaC, Obroč s prevleko iz tantalovega karbida, Porozni grafit, prevlečen s tantalovim karbidom, TaC Coating Rotation Susceptor, Prstan iz tantalovega karbida, Rotacijska plošča s premazom TaC, TaC prevlečen suceptor za rezine, Deflektorski obroč s prevleko iz TaC, CVD TaC prevleka, TaC prevlečena vpenjalna glavaitd., čistost je pod 5 ppm, lahko izpolnjuje zahteve kupcev.


TaC prevlečni grafit je ustvarjen s prevleko površine grafitnega substrata visoke čistosti s fino plastjo tantalovega karbida z lastniškim postopkom kemičnega naparjevanja (CVD). Prednost je prikazana na spodnji sliki:


Excellent properties of TaC coating graphite


Prevleka iz tantalovega karbida (TaC) je pritegnila pozornost zaradi visokega tališča do 3880 °C, odlične mehanske trdnosti, trdote in odpornosti na toplotne šoke, zaradi česar je privlačna alternativa za sestavljene postopke epitaksije polprevodnikov z višjimi temperaturnimi zahtevami, kot sta sistem Aixtron MOCVD in postopek epitaksije SiC LPE. Ima tudi široko uporabo v procesu rasti kristalov SiC metode PVT.


Ključne značilnosti:

 ●Temperaturna stabilnost

 ●Ultra visoka čistost

 ●Odpornost na H2, NH3, SiH4,Si

 ●Odpornost na toplotno zalogo

 ●Močan oprijem na grafit

 ●Konformna prevleka

 ● Velikost do premera 750 mm (Edini proizvajalec na Kitajskem dosega to velikost)


Aplikacije:

 ●Nosilec rezin

 ● Induktivni grelni sprejemnik

 ● Uporovni grelni element

 ●Satelitski disk

 ●Tuš glava

 ●Vodilni obroč

 ●LED Epi sprejemnik

 ●Šoba za vbrizgavanje

 ●Maskirni prstan

 ● Toplotni ščit


Prevleka tantalovega karbida (TaC) na mikroskopskem prerezu:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter prevleke iz tantalovega karbida VeTek Semiconductor:

Fizikalne lastnosti TaC prevleke
Gostota 14,3 (g/cm³)
Specifična emisijska sposobnost 0.3
Koeficient toplotnega raztezanja 6,3 10-6/K
Trdota (HK) 2000 HK
Odpornost 1×10-5Ohm*cm
Toplotna stabilnost <2500 ℃
Spremembe velikosti grafita -10~-20um
Debelina nanosa Tipična vrednost ≥20um (35um±10um)


Podatki EDX o prevleki TaC：

EDX data of TaC coating


Podatki o kristalni strukturi prevleke TaC:

Element Atomski odstotek
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Povprečje
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Tac prevleka za vrtenje plošče

Tac prevleka za vrtenje plošče

TAC prevlečna plošča za vrtenje, ki jo proizvaja Vetek Semiconductor, se ponaša z izjemno prevleko TAC, s svojo izjemno prevleko TAC, vrtilna plošča TAC prevleke pa ima izjemno visokotemperaturno odpornost in kemično inertnost, ki jo ločijo od tradicionalnih rešitev. Zavezani smo, da bodo kakovostne izdelke zagotovili po konkurenčnih cenah in se veselimo, da bo vaš dolgoročni partner v Kitajskem.
Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>
Tac prevleka plošča

Tac prevleka plošča

Zasnovan z natančnostjo in izdelano do popolnosti, je plošča Vetek Semiconductor's TAC prevleka posebej prilagojena za različne aplikacije v procesih rasti silicijevega karbida (sic). Natančne dimenzije plošče Tac prevleka in močna konstrukcija omogočajo vgradnjo v obstoječe sisteme in učinkovito delovanje. Njegova zanesljiva zmogljivost in kakovostna prevleka prispevata k doslednim in enotnim rezultatom v aplikacijah za rast kristalov SIC. Zavezani smo, da bomo zagotavljali kakovostne izdelke po konkurenčnih cenah in se veselimo, da boste vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>
CVD TAC prevleka za prevleko

CVD TAC prevleka za prevleko

CVD TAC prevleka za prevleko, ki jo ponuja Vetek Semiconductor, je visoko specializirana komponenta, zasnovana posebej za zahtevne aplikacije. S svojimi naprednimi funkcijami in izjemnimi zmogljivostmi naša prevleka za prevleko CVD TAC ponuja več ključnih prednosti. Naše prevleko za prevleko TAC CVD zagotavlja potrebno zaščito in zmogljivost, potrebno za uspeh. Veselimo se raziskovanja potencialnega sodelovanja z vami!
Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>
Planetarni obspevnik Tac prevleka

Planetarni obspevnik Tac prevleka

Planetarni obstreznik TAC prevleka je izjemen izdelek za opremo Aixtron Epitaxy. TAC prevleka Vetek Semiconductor zagotavlja odlično visokotemperaturno odpornost in kemično inertnost. Ta edinstvena kombinacija zagotavlja zanesljivo delovanje in dolgo življenjsko dobo, tudi v zahtevnih okoljih. Vetek se zavezuje k zagotavljanju kakovostnih izdelkov in kot dolgoročni partner na kitajskem trgu s konkurenčnimi cenami.
Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>
Tac prevleka podstavka

Tac prevleka podstavka

Tac prevleka lahko zdrži visoko temperaturo 2200 ℃. Vetek Semiconductor zagotavlja visoko čistost TAC prevleko z nečistočami pod 5ppm na Kitajskem. Podporna plošča za podstavek za prevleko TAC lahko zdrži amoniak vodik, argonin v reakcijski komori epitaksialne naprave. Izboljša življenjsko dobo izdelka. Zahtevate zahteve, prilagajamo prilagoditev.
Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>
Tac prevleka Chuck

Tac prevleka Chuck

TAC prevleka Vetek Semiconductor ima visokokakovostno prevleko, ki je znana po izjemni visokotemperaturni odpornosti in kemični inertnosti, zlasti v procesih silicijevega karbida (SIC) (EPI). S svojimi izjemnimi lastnostmi in vrhunsko zmogljivostjo naša TAC prevleka Chuck ponuja več ključnih prednosti. Zavezani smo, da bomo zagotavljali kakovostne izdelke po konkurenčnih cenah in se veselimo, da boste vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>
Kot profesionalec Prevleka iz tantalovega karbida proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo svojo tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve, da zadovoljijo posebne potrebe vaše regije ali želite kupiti napredne in trajne Prevleka iz tantalovega karbida, narejene na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.
Novice Priporočila
Zakaj je sic prevleka ključni osnovni material za sic epitaksialno rast?
Zakaj je sic prevleka ključni osnovni material za sic epitaksialno rast?Poglej več >>
Zasnova toplotnega polja za rast sic enojnega kristala
Zasnova toplotnega polja za rast sic enojnega kristalaPoglej več >>
Porozni silikonski karbid (sic) keramični krožniki: visokozmogljivi materiali v proizvodnji polprevodnikov
Porozni silikonski karbid (sic) keramični krožniki: visokozmogljivi materiali v proizvodnji polprevodnikovPoglej več >>
Porozni karbid Tantalum: nova generacija materialov za rast kristalov sic
Porozni karbid Tantalum: nova generacija materialov za rast kristalov sicPoglej več >>
Težave v procesu jedkanja
Težave v procesu jedkanjaPoglej več >>
Kaj je keramika iz silicijevega karbida?
Kaj je keramika iz silicijevega karbida?Poglej več >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept