Novice

V tovarni Fab obstaja veliko vrst merilne opreme. Navadna oprema vključuje opremo za merjenje procesa litografije, opremo za merjenje postopka jedkanja, opremo za merjenje postopka nanašanja tankega filma, opremo za merjenje procesa dopinga, opremo za merjenje procesov CMP, opremo za zaznavanje delcev rezin in drugo merilno opremo.

Prevleka iz tantalovega karbida (TaC) lahko znatno podaljša življenjsko dobo grafitnih delov z izboljšanjem odpornosti na visoke temperature, odpornosti proti koroziji, mehanskih lastnosti in zmožnosti toplotnega upravljanja. Njegove lastnosti visoke čistosti zmanjšujejo onesnaženje z nečistočami, izboljšujejo kakovost rasti kristalov in povečujejo energetsko učinkovitost. Primeren je za uporabo v proizvodnji polprevodnikov in rasti kristalov v visokotemperaturnih, zelo korozivnih okoljih.

Premazi Tantalum karbida (TAC) se pogosto uporabljajo v polprevodniškem polju, predvsem za komponente epitaksialnega rastnega reaktorja, enojne komponente rasti kristala, visokotemperaturne industrijske komponente, grelniki sistema MOCVD in nosilci rezin.

Med postopkom epitaksialne rasti SiC lahko pride do okvare grafitne suspenzije, prevlečene s SiC. Ta članek izvaja natančno analizo pojava okvare grafitne suspenzije, prevlečene s SiC, ki vključuje predvsem dva dejavnika: okvaro epitaksialnega plina SiC in okvaro prevleke SiC.