Novice

V dobi hitrega razvoja MEMS (mikroelektromehanskih sistemov) je izbira pravega piezoelektričnega materiala odločilna odločitev za delovanje naprave. Tankoplastne rezine PZT (svinčev cirkonat titanat) so postale najboljša izbira pred alternativami, kot je AlN (aluminijev nitrid), saj ponujajo vrhunsko elektromehansko sklopitev za vrhunske senzorje in aktuatorje.

Ker se proizvodnja polprevodnikov še naprej razvija v smeri naprednih procesnih vozlišč, višje integracije in kompleksnih arhitektur, se odločilni dejavniki za izkoristek rezin subtilno spreminjajo. Za proizvodnjo polprevodniških rezin po meri prelomna točka za izkoristek ni več le v osnovnih procesih, kot sta litografija ali jedkanje; suceptorji visoke čistosti vse bolj postajajo osnovna spremenljivka, ki vpliva na stabilnost in doslednost procesa.

Če je v svetu širokopasovnih (WBG) polprevodnikov napredni proizvodni proces "duša", je grafitni susceptor "hrbtenica", njegova površinska prevleka pa kritična "koža".