Izdelki

Prevleka iz tantalovega karbida

VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec materialov za prevleko iz tantalovega karbida za industrijo polprevodnikov. Naša glavna ponudba izdelkov vključuje dele s prevleko iz tantalovega karbida CVD, dele s sintrano prevleko TaC za rast kristalov SiC ali postopek epitaksije polprevodnikov. VeTek Semiconductor, ki je opravil ISO9001, ima dober nadzor nad kakovostjo. VeTek Semiconductor je namenjen postati inovator v industriji prevlek iz tantalovega karbida s stalnimi raziskavami in razvojem ponavljajočih se tehnologij.


Glavni proizvodi soVodilni obroč s prevleko iz TaC, Vodilni obroč s tremi lističi, prevlečen s CVD TaC, Polmesec s prevleko iz tantalovega karbida TaC, Planetarni SiC epitaksialni suceptor s prevleko CVD TaC, Obroč s prevleko iz tantalovega karbida, Porozni grafit, prevlečen s tantalovim karbidom, TaC Coating Rotation Susceptor, Prstan iz tantalovega karbida, Rotacijska plošča s premazom TaC, TaC prevlečen suceptor za rezine, Deflektorski obroč s prevleko iz TaC, CVD TaC prevleka, TaC prevlečena vpenjalna glavaitd., čistost je pod 5 ppm, lahko izpolnjuje zahteve kupcev.


TaC prevlečni grafit je ustvarjen s prevleko površine grafitnega substrata visoke čistosti s fino plastjo tantalovega karbida z lastniškim postopkom kemičnega naparjevanja (CVD). Prednost je prikazana na spodnji sliki:


Excellent properties of TaC coating graphite


Prevleka iz tantalovega karbida (TaC) je pritegnila pozornost zaradi visokega tališča do 3880 °C, odlične mehanske trdnosti, trdote in odpornosti na toplotne šoke, zaradi česar je privlačna alternativa za sestavljene postopke epitaksije polprevodnikov z višjimi temperaturnimi zahtevami, kot sta sistem Aixtron MOCVD in postopek epitaksije SiC LPE. Ima tudi široko uporabo v procesu rasti kristalov SiC metode PVT.


Ključne značilnosti:

 ●Temperaturna stabilnost

 ●Ultra visoka čistost

 ●Odpornost na H2, NH3, SiH4,Si

 ●Odpornost na toplotno zalogo

 ●Močan oprijem na grafit

 ●Konformna prevleka

 Velikost do premera 750 mm (Edini proizvajalec na Kitajskem dosega to velikost)


Aplikacije:

 ●Nosilec rezin

 ● Induktivni grelni sprejemnik

 ● Uporovni grelni element

 ●Satelitski disk

 ●Tuš glava

 ●Vodilni obroč

 ●LED Epi sprejemnik

 ●Šoba za vbrizgavanje

 ●Maskirni prstan

 ● Toplotni ščit


Prevleka tantalovega karbida (TaC) na mikroskopskem prerezu:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter prevleke iz tantalovega karbida VeTek Semiconductor:

Fizikalne lastnosti TaC prevleke
Gostota 14,3 (g/cm³)
Specifična emisijska sposobnost 0.3
Koeficient toplotnega raztezanja 6,3 10-6/K
Trdota (HK) 2000 HK
Odpornost 1×10-5Ohm*cm
Toplotna stabilnost <2500 ℃
Spremembe velikosti grafita -10~-20um
Debelina nanosa Tipična vrednost ≥20um (35um±10um)


Podatki EDX o prevleki TaC

EDX data of TaC coating


Podatki o kristalni strukturi prevleke TaC:

Element Atomski odstotek
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Povprečje
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TAC prevleka za vrtenje

TAC prevleka za vrtenje

Kot profesionalni proizvajalec, inovator in vodja izdelkov za obvladovalce rotacije TAC prevleke na Kitajskem. Vetek polprevodnik TAC prevlečen obloge za vrtenje je običajno nameščen v kemičnem odlaganju hlapov (CVD) in molekularni žarek epitaksi (MBE) za podporo in vrtenje rezin, da se zagotovi enakomerno odlaganje materiala in učinkovita reakcija. Je ključna komponenta pri obdelavi polprevodnikov. Dobrodošli v nadaljnjem posvetovanju.
CVD TAC prevleka za prevleko

CVD TAC prevleka za prevleko

Vetek Semiconductor je profesionalni proizvajalec in vodja izdelkov CVD TAC prevleke Conting Crucible Products na Kitajskem. CVD TAC prevleka Crucible temelji na prevleki Tantalum ogljika (TAC). Ogljikov premaz Tantalum je enakomerno pokrit na površini lončka s postopkom kemičnega odlaganja hlapov (CVD), da se poveča njena toplotna odpornost in korozijsko odpornost. Gre za materialno orodje, ki se posebej uporablja v visokotemperaturnih ekstremnih okoljih. Dobrodošli v nadaljnjem posvetovanju.
CVD TAC prevleka za prevleke

CVD TAC prevleka za prevleke

Kot profesionalni proizvajalec izdelkov in tovarna izdelkov TAC CVD TAC prevleke na Kitajskem je Vetek Semiconductor CVD TAC prevleka za nosilce rezin, ki nosijo rezine, posebej zasnovano za visoko temperaturno in korozivno okolje pri proizvodnji polprevodnikov. in CVD TAC prevleka za prevleke ima visoko mehansko trdnost, odlično korozijsko odpornost in toplotno stabilnost, kar zagotavlja potrebno jamstvo za izdelavo visokokakovostnih polprevodniških naprav. Vaše nadaljnje poizvedbe so dobrodošle.
TaC Coating Grelec

TaC Coating Grelec

VeTek Semiconductor TaC Coating Heater ima izjemno visoko tališče (približno 3880 °C). Visoko tališče mu omogoča delovanje pri izjemno visokih temperaturah, zlasti pri rasti epitaksialnih plasti galijevega nitrida (GaN) v postopku kemičnega naparjevanja kovin (MOCVD). VeTek Semiconductor je zavezan zagotavljanju strankam prilagojenih rešitev izdelkov. Veselimo se vašega odgovora.
CVD TAC premaz

CVD TAC premaz

VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec izdelkov CVD TAC Coating na Kitajskem. Že vrsto let se osredotočamo na različne izdelke CVD TAC Coating, kot so CVD TaC Coating Ring, CVD TaC Coating Ring. VeTek Semiconductor podpira prilagojene storitve izdelkov in zadovoljive cene izdelkov ter se veseli vašega nadaljnjega posvetovanja.
Tac prevlečen Chuck

Tac prevlečen Chuck

S svojo visoko temperaturno odpornostjo, kemično inertnostjo in odlično zmogljivostjo so za polprevodniške peči zasnovani Vetek Semiconductor's TAC. Verjamemo, da vam lahko naši izdelki prinesejo napredno tehnologijo in kakovostne rešitve izdelkov.
Kot profesionalec Prevleka iz tantalovega karbida proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo svojo tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve, da zadovoljijo posebne potrebe vaše regije ali želite kupiti napredne in trajne Prevleka iz tantalovega karbida, narejene na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept