Kaj je elektrostatični chuck (ESC)?

Elektrostatični chuck (ESC), znan tudi kot elektrostatični chuck (ESC, E-Chuck), je vgradnja, ki uporablja načelo elektrostatične adsorpcije za držanje in pritrditev adsorbiranega materiala. Primerno je za vakuumsko in plazemsko okolje. Njegova glavna funkcija je adsorbiranje ultra-Očistite tanke rjuhe (na primer silicijeve rezine) in adsorbirani material hranite na dobri ravnini, kar lahko tudi zavira deformacijo adsorbiranega materiala med postopkom in lahko prilagodi temperaturo adsorbata.

Elektrostatični chuck (ESC) je posebna vrsta Chucka, ki uporablja elektrostatično silo za držanje, pritiskanje in pobiranje predmetov (obdelovanca). Vsak material nosi pozitivne in negativne naboje, ki so nevidni za golo oko. Ko je material nameščen na ESC in se na notranje elektrode ESC uporabi bipolarna napetost, se bodo znotraj materiala premikali pozitivni in negativni naboji, da se ujemajo s polarnostjo notranjih elektrod ESC. Ta privlačnost med ESC in materialom se imenuje elektrostatična sila in je tudi temeljno načelo za naše chucks.

Prednosti izdelka

Ima širok razpon delovne temperature (-50 do 700 ℃)

Te elektrostatične sesalne skodelice imajo odlično moč, toplotno prevodnost in odpornost na toplotni udar in se lahko prilagodijo širokemu temperaturnemu območju s pomočjo NGK -jevega zaščitenega keramičnega volumskega upornosti.

Visoka korozijska odpornost

Te elektrostatične sesalne skodelice imajo odlično korozijsko odpornost na halogenske pline.

Obdelava nizkih delcev

Zdravljenje z nizkimi delci je mogoče doseči s površinsko obdelavo in posebnim čiščenjem

Visoka čistost

Na voljo so tudi izdelki s čistostjo 99,9% ali več.

Funkcija ogrevanja

Tehnologija vgrajevanja ogrevalnih elementov z visoko natančnostjo je mogoče integrirati s funkcijo grelnika, temperaturo rezin pa je mogoče nadzorovati znotraj ± 1%.

Funkcija hlajenja

Te elektrostatične sesalne skodelice imajo izjemno visoko hladilno zmogljivost z vezanjem keramičnih plošč z visoko toplotno prevodnostjo in hladilnimi ploščami.

Radiofrekvenčna elektroda

V razsutem stanju kovinske elektrode lahko hkrati zagotavljajo stabilno vpenjanje rezin in nastajanje radiofrekvenčne plazme.

Parameter

1.Na področju polprevodniške in elektronske proizvodnje: med polprevodniškimi in elektronskimi proizvodnimi procesi se elektrostatične sesalne skodelice uporabljajo za popravljanje in ravnanje s tankimi in krhkimi silicijevimi rezinami, rezinicami itd. Njegove prednosti so v močni adsorpcijski sili, brez mehanskih stresov in preprostega delovanja.

2. Steklena in keramična industrija: Med procesi rezanja, brušenja in ravnanja s steklom in keramiko lahko elektrostatične sesalne skodelice izvajajo nedestruktivne operacije na krhkih materialih, kar zmanjša hitrost preloma izdelka.

3. Proizvodnja natančnih strojev in optičnih komponent: Za natančne stroje in optične komponente lahko elektrostatične sesalne skodelice zagotavljajo stabilno adsorpcijsko silo, ki preprečujejo deformacijo ali praske med obdelavo.

4. Avtomatizirane proizvodne linije: V avtomatiziranih proizvodnih linijah se elektrostatične sesalne skodelice pogosto uporabljajo pri pozicioniranju, ravnanju in sestavljanju delov itd.