SiC Keramična vakuumska vpenjalna glava za rezine

Moj tekmec sic keramična vakuumska vpenjalna glava za rezine je osrednja komponenta, razvita posebej za proizvodnjo polprevodnikov tretje generacije, optimizirana za visokotemperaturna in visokotlačna procesna okolja, ki jih doživljajo rezine. Narejene iz keramičnih materialov visoke čistosti, natančna strojna obdelava in specializirana površinska obdelava zagotavljajo stabilno delovanje vakuuma in odlično toplotno stabilnost v zahtevnem procesu izdelave polprevodnikov. Naše vakuumske vpenjalne glave je na terenu preizkusilo na stotine proizvajalcev polprevodnikov, kar je pokazalo odlično zmogljivost v kritičnih procesih, kot so SiC epitaksija, ionska implantacija in fotolitografija. Učinkovito rešujejo težave z zvijanjem rezin in natančnostjo pozicioniranja, ki jih povzročata visoka trdota materiala in visoke procesne temperature.

Splošne informacije o izdelku

Poslovni pogoji izdelkov

Aplikacija: Veteksemicon keramična vakuumska vpenjalna glava za rezine je izdelana iz visoko zmogljivih keramičnih materialov in natančno obdelana, da zagotovi ultra ravno površino in odlično toplotno stabilnost. Zagotavlja zanesljive rešitve za adsorpcijo rezin in nadzor temperature za postopke, kot so epitaksialna rast, ionska implantacija in fotolitografija, ter učinkovito izboljšuje izkoristek procesa in učinkovitost proizvodnje.

Storitve, ki jih je mogoče zagotoviti: analiza scenarijev aplikacij strank, ujemanje materialov, reševanje tehničnih problemov.

Profil podjetja：Veteksemicon ima 2 laboratorija, ekipo strokovnjakov z 20-letnimi materialnimi izkušnjami, z zmogljivostmi raziskav in razvoja ter proizvodnje, testiranja in preverjanja.

Moj tekmec keramična vakuumska vpenjalna glava za prednosti jedra rezin

 ● Preboj v znanosti o materialih

Moj tekmec uporablja edinstveno formulacijo materiala in postopek sintranja, da bistveno izboljša mehansko trdnost in toplotno stabilnost svojih izdelkov, hkrati pa ohranja odlične izolacijske lastnosti keramičnih materialov. Naša keramika na osnovi aluminijevega oksida uporablja surovine visoke čistosti in posebno formulacijo dodatkov, kar zagotavlja odlično dimenzijsko stabilnost tudi v okoljih z visoko temperaturo. Naša keramika na osnovi silicijevega karbida z optimiziranim postopkom sintranja dosega višjo toplotno prevodnost in izboljšano toplotno ujemanje, zaradi česar je še posebej primerna za obdelavo rezin SiC pri visokih temperaturah.

 ● Odlično upravljanje toplote

Naša edinstvena večslojna zasnova in natančna strojna obdelava zagotavljata, da vpenjalna glava ohranja odlično toplotno enakomernost tudi pri delovnih pogojih pri visokih temperaturah. Vpenjalna glava iz silicijevega karbida se ponaša s toplotno prevodnostjo, ki presega 200 W/m·K, kar omogoča hitro temperaturno uravnoteženje in vzdrževanje temperaturnih nihanj površine rezin znotraj ±0,8 °C. Ta vrhunska zmogljivost toplotnega upravljanja se učinkovito izogne ​​procesnim napakam, ki jih povzročijo temperaturne razlike, in bistveno izboljša izkoristek izdelka.

● Ultra-natančna tehnologija obdelave

Moj tekmec se ponaša z vodilnimi preciznimi obdelovalnimi centri na Kitajskem, ki uporabljajo edinstvene postopke brušenja in poliranja za doseganje submikronske ravnosti površine. Naše vpenjalne glave iz silicijevega karbida dosežejo ravnost površine znotraj 0,8 μm, z vrednostjo površinske hrapavosti Ra, ki ne presega 0,1 μm. Ta izjemno natančna kakovost površine zagotavlja popolno prileganje med rezino in vpenjalno glavo ter zagotavlja zanesljivo ravno referenco za natančne postopke, kot je fotolitografija.

● Izboljšana življenjska doba

Z optimiziranimi formulacijami materialov in okrepljeno strukturno zasnovo imajo naši izdelki življenjsko dobo, ki presega 40 % v primerjavi s tradicionalnimi izdelki. Posebne tehnologije ojačitve robov in površinske prevleke omogočajo našim izdelkom, da prenesejo pogosto vpenjanje in čiščenje. Za izdelke na osnovi aluminijevega oksida je zagotovljeno, da bodo delovali več kot 200.000-krat, medtem ko lahko izdelki na osnovi silicijevega karbida dosežejo več kot 500.000 ciklov, kar znatno zmanjša operativne stroške za naše stranke.

● Potrditev preverjanja ekološke verige

Preverjanje ekološke verige keramične vakuumske vpenjalne glave Veteksemicon za rezine zajema surovine do proizvodnje, je opravilo certificiranje mednarodnih standardov in ima številne patentirane tehnologije, ki zagotavljajo njeno zanesljivost in trajnost na polprevodniških in novih energetskih področjih.

Za podrobne tehnične specifikacije, bele knjige ali dogovore o testiranju vzorcev prosimostopite v stik z našo ekipo za tehnično podporoda raziščete, kako lahko Veteksemicon izboljša vašo učinkovitost procesa.